主题:【原创】【求助】icp6300点火后熄火,提示错误E9005

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Ins_7ec7100c
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提示错误E9005过温,换了冷却水后依旧存在点火后熄火的情况,求助各位大佬。
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JOE HUI
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楼主,软件报错提示由于RF功率管过温导致等离子体熄灭,需要检查冷却水装置的水流量和温度。冷却不足时,点火后高频电源温度上升,导致安全装置启动,将对等离子体进行熄火。请确认是否由于配管上载有物品,冷却水量是否变少。此外,冷却循环水机供应冷却水时,冷却水的流量及温度可能会有变动。请稍微增加冷却水流量后再次点火。
Dove
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原文由 JOE HUI(xurunjiao5339) 发表:
楼主,软件报错提示由于RF功率管过温导致等离子体熄灭,需要检查冷却水装置的水流量和温度。冷却不足时,点火后高频电源温度上升,导致安全装置启动,将对等离子体进行熄火。请确认是否由于配管上载有物品,冷却水量是否变少。此外,冷却循环水机供应冷却水时,冷却水的流量及温度可能会有变动。请稍微增加冷却水流量后再次点火。
感谢!冷却循环水机换了水,显示温度为17℃,压力为460KPa,似乎正常但问题仍然存在。另外不知道您说的配管上载有物品指的是哪里,应该如何排除。
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