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主题：【原创】【求助】icp6300点火后熄火，提示错误E9005

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Ins_7ec7100c
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发表于：2024/04/16 16:20:22 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
提示错误E9005过温，换了冷却水后依旧存在点火后熄火的情况，求助各位大佬。
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2024/4/16 20:59:46 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼主，软件报错提示由于RF功率管过温导致等离子体熄灭，需要检查冷却水装置的水流量和温度。冷却不足时，点火后高频电源温度上升，导致安全装置启动，将对等离子体进行熄火。请确认是否由于配管上载有物品，冷却水量是否变少。此外，冷却循环水机供应冷却水时，冷却水的流量及温度可能会有变动。请稍微增加冷却水流量后再次点火。
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Dove
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2024/4/17 11:06:13 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 JOE HUI(xurunjiao5339) 发表:
楼主，软件报错提示由于RF功率管过温导致等离子体熄灭，需要检查冷却水装置的水流量和温度。冷却不足时，点火后高频电源温度上升，导致安全装置启动，将对等离子体进行熄火。请确认是否由于配管上载有物品，冷却水量是否变少。此外，冷却循环水机供应冷却水时，冷却水的流量及温度可能会有变动。请稍微增加冷却水流量后再次点火。
感谢！冷却循环水机换了水，显示温度为17℃，压力为460KPa，似乎正常但问题仍然存在。另外不知道您说的配管上载有物品指的是哪里，应该如何排除。
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