这是一种放大倍率介于光学显微镜(最大1000X)和普通钨灯丝扫描电镜(通常达100000X)之间的Mini型的扫描电子显微镜,放大倍率一般在10000X-30000X之间,分辨率在15nm-30nm之间,常应用于光学显微镜倍率不够同时又不需要象普通电镜那样的高倍率的场合.由于系统集成度比普通电镜高(体积小巧,普通轿车就可以拖着跑),操作简单(类似傻瓜相机,对操作者要求低)等特点,近年来市场上很流行,各个SEM制造商均推出了Mini型的电镜,但各家叫法不一样,有叫桌上型小电镜的,也有叫台式电镜或可移动式电镜的,但是本质都一样,都属于MiniSEM.
顺便说一句,市场上MiniSEM有两种:背散射电子成像类型和二次电子成像类型,两种各有千秋,背散射的样品往往不需要镀膜,但图像质量没有二次电子像那么清晰;二次电子的图像比背散射的清晰高得多,但对不导电样品需要镀膜,也就是说通常需要配备喷金仪.另外,无论哪种MiniSEM,都可以加配EDS能谱仪用于微区成分分析,但要注意,需加配EDS能谱仪的MiniSEM,应尽可能选择放大倍率高一点且加速电压高一点的,因较弱的信号不利于能谱分析.
以上仅供参考