主题:【讨论】SiGe的TEM测试哪里可以做?怎么弄?高人指点一下

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lily_hanchun
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偶是一个微电子的研究生。组里面做了一张片子,针对SiGe合金,我们想测试一下。但是没有测过,还望各位测量高手帮帮忙!
  首先,不知道我们的SiGe片子要怎么制样?切角的选取?另外,收费的情况是什么样的?全部都是以hour计时吗?那我们一张片子要耗几个小时呢?总共花费大概是多少呢?有些地方的TEM不太欢迎测SiGe材料,实在是很头痛。哪些地方会比较方便呢?
  看到自己上一段很多的“?”,实在是很多东西不知道,还望大家帮帮忙!
  千恩万谢!
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