原文由 semoperator 发表:
请问一般电子束作用在样品上的范围有多大,例如某电镜的分辨率是1.2nm,能否说其作用在样品的表面的面积直径约1.2nm,还是更大?其作用深度又是多少呢?都和什么因素有关?
另一个问题是电子束的与样品的作用范围会影响EDS成分的定量分析,如果要问EDS能够分析的最小颗粒是多大,其问题实际上是否是问电子束的作用范围,如果电子束不超过这个颗粒,其分析的成分是否就是这个颗粒的成分呢?
我有一个样品,含有很多200nm的颗粒,能否用EDS较准确的分析出成分?其主要分析的影响因素是什么呢?
能否说把颗粒放大到很大倍数,然后在颗粒上打点,就可以分析出颗粒的成分了?
这些问题一直困扰我,请各位集中给答复一下。
这些问题应去阅读电镜原理中电子束与样品的作用部分。
简单的说:
电子束作用在样品上的范围与加速电压、束斑大小、样品材料及所取的信号种类等有关。如某电镜的分辨率是1.2nm,可以说其在最佳分辨率条件下作用在样品表面的束斑直径应小于1.2nm。不同信号产生的范围及深度不同,二次电子信号产生于样品表面较浅的部位,范围及深度约为几nm,X射线产生于样品表面较深的范围,产生X射线的范围及深度约零点几至几十微米。信号产生的范围及深度主要受加速电压及样品材料原子序数的影响。
电子束与样品的作用范围会影响EDS成分的分析,EDS能够分析的最小颗粒应不小于产生X射线的范围,如一般黑色金属,其范围约在1微米左右。如果分析的颗粒超过这个范围,其分析的成分应基本上就是这个颗粒的成分。
对于200nm的颗粒,不能用EDS准确的分析出成分,因为在电子束激发该颗粒产生X射线的同时,也激发出了相邻颗粒(或部位)产生X射线,这样分析的结果就包含了相邻部位的成分。
把颗粒放得再大,也减小不了X射线的产生范围,所以说靠提高放大倍数来提高X射线的分辨率是不可能的。这是EDS的局限性。