主题：【原创】EDS成分分析和电子束作用范围

原文由 semoperator 发表:

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此论坛实在霸道，一条个人所见竟遭到如此指责。
可是你们又不讲出你的道理。
这样办这个论坛还有什么意义，又有谁敢在此发表见解！？
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呵呵，言论自由！但见解最好要正确呀，我看了您对我的回复，就按你的说法给我的同事讲解了，但后来经RENXIN指正，查了查教科书，才觉得您说的确实不妥呀。
提高加速电压可以缩短电子波长，从而提高分辨率。
不同的加速电压和束斑大小无直接关系，后者好像是受聚光镜光阑所控制的。

不知以上说法对否？

原文由 happydfli 发表:

原文由 RENXIN 发表:

原文由 zemb 发表:
楼上说的是。
你分析颗粒成分的时候用的是定点方式（点扫描），此时电子束打在一点是不动的。与扫描范围、放大倍数无关。以上所说的电子束与样品的作用范围，也只是考虑一个点，而不是在某放大倍数的扫描范围。

X射线的产生范围主要与加速电压、原子序数等有关。一般情况下束斑直径远小于这个尺寸，可以忽略不计。
束斑的大小实际上是表示电子束聚焦程度的好坏。加速电压越高更利于电子束的汇聚，束斑可能更小，这就是为什么提高加速电压可以提高分辨率的主要原因。

打住，此言差矣，严格地讲大错特错。 实在不敢相信您在如此错误的概念下操作。

束斑的大小和电子束的聚焦好坏毫无关系。大束斑和小束斑都可以得到聚焦的图像。

加速电压高低和束斑大小更无瓜葛。

加速电压高，分辨率高是不错，但不是由于提高了加速电压而缩小了束斑尺寸的原因。

看来国内的电镜理论很混淆，以讹传讹真是不假。

我也有同感呀，觉得看到的东西说的都是五花八门，似乎做电镜的人并没有很仔细的读一读专门的教科书，更不用说对电子光学以及相关的一套理论有深入的理解了。大概都是半路出家。俺还需要努力学习呀。

原文由 zemb 发表:
参考文献：



看到加速电压与束斑的关系了吗？
我看到的一些书籍文献都是说束斑直径是决定SEM分辨率的主要因素。（这是中国书，不知是否可信？我想中国人也不都这么傻吧，专和外国人做对。）
我想，加速电压（或者说电子波的波长）对分辨率的影响，也就是因其影响束斑大小。电镜的理论分辨率比现在的水平约高两个数量级，可见影响分辨率的主要因素还是电子光学系统本身的性能。
对于扫描电镜，也并不是分辨率一直随着束斑的减小而提高。当束斑减小到一定程度，上面的第二条（入射电子在试样中的扩散）就成为最重要因素而又限制了分辨率的提高。

原文由 amoslau 发表:

加速电压和透镜电流的波动会加大色差，色差直接影响到电子探针的直径。
束斑绝大程度上取决于电子束的孔径角，透镜电流和末光阑在绝大程度上影响着孔径角；最佳孔径角（像差得到了最大的控制）时达到最小束斑，此时还要考虑工作距离和聚焦条件，长工作距离下最小束斑是不可能汇聚到样品上的。以上束斑指电子束探针与样品表面的束斑。

另外透镜的分辨率与电子束波长成反比，高电压能够有效地消除像差。另外降低加速电压降低了亮度而提高了衬度，但是电子束探针直径被加大了，牺牲了分辨率。以上为个人观点，这么说对不对？如不对，为什么，请给出理由！

原文由 zemb 发表:
可惜呀，你这是在中国办论坛，你只能陪着我们这些下里巴人在这搅和了。
中国的理论也不都是自己发明的，多数都是从外国传来的。
不能观点不符合口味就大加封杀吧，否则这就成了一言堂了。