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主题：【求助】关于扫描电镜EDS定量问题请教！

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jeffrylee
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发表于：2009/08/11 15:19:03 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们的扫描电镜是日立S4800，配有EDAX的能谱，上个学期碰到一些样品，没法准确的定量，不知道各位高人有没有解决办法。一个是Mo和S元素的谱峰大部分重叠，一个是Ti和Ba的谱峰也有大部分重叠，利用能谱自带软件的拟合功能得到的元素分析结果明显偏离，比如我分析MoS2材料的表面元素含量，基本上是纯相，但是EDS分析拟合结果里面Mo和S的原子比离1：2差的多，不知道各位有没有什么好办法？
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2009/8/14 19:53:20 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
电压用30kV试试，把Mo的K线激发出来，这样就避免了Mo L线与S Ka线的重叠
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