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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】EDS问题

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hongdesky

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发表于：2011/08/24 21:21:01 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

各位大家好！小弟有个问题想请教大家,今天用3400的SEM做能谱分析的，由于样品是不导电的，所以就在低真空下打能谱，但听说在低真空下做能说分析，测出来的数据不太准确，于是又在高真空下做能谱，但可能由于样品不导电，在打能谱的时候发现图象有移动，不知图象移动了，对能谱打出的结果是否还准确。（本人担心就是，打能谱的时候由于图象移动了，导致打的点不再是原来的那个点），不知大家有没出现这样的现象？还有就是其实图象移动了，那是否说明样品被移动了呢？期待高人答复~~~~谢谢~~

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2011/8/25 0:45:34 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

样品积累电荷会产生静电场，使电子束漂移，测量点改变，测量结果不准确。

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小M

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2011/8/25 9:25:22 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

低真空对能谱有什么影响呢？

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guoquany

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2011/8/29 15:00:41 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 hongdesky(hongdesky) 发表:
各位大家好！小弟有个问题想请教大家,今天用3400的SEM做能谱分析的，由于样品是不导电的，所以就在低真空下打能谱，但听说在低真空下做能说分析，测出来的数据不太准确，于是又在高真空下做能谱，但可能由于样品不导电，在打能谱的时候发现图象有移动，不知图象移动了，对能谱打出的结果是否还准确。（本人担心就是，打能谱的时候由于图象移动了，导致打的点不再是原来的那个点），不知大家有没出现这样的现象？还有就是其实图象移动了，那是否说明样品被移动了呢？期待高人答复~~~~谢谢~~

图象移动了，就不是原来的位置了，能谱打出的结果不准确了

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