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主题：【求助】求助XPS元素定量分析问题

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nswcora1
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发表于：2007/08/20 18:34:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各位大虾， 请问XPS元素定量分析准吗？我做的主要是O和Si（〉10%），其中掺杂有少量的P（《1%）, 原来一直是由XPS来定量分析成分的。但是我现在怀疑其测量含量O/Si的准确性。请教各位有什么看法。
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2007/8/20 19:17:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你做的什么？
薄膜的话可能性大
粉末的话要困难一点
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klvn
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2007/8/21 18:50:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
XPS分析深度只有几个纳米，半定量分析误差比较大，空气中氧也很容易吸附在样品表面，建议你测试时用氩离子枪做一下表面清洁
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yulafeng
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2007/8/24 11:11:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
定量分析的误差在10%以内。曾经在仪器更换部件后做过标准样品的测试，NaCl ，KI的原子个数比都为1.00。所以我同意楼上的意见，可以先不刻蚀先测一下，然后刻蚀后再测量，看氧的含量是否减少。
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