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主题：【求助】请问俄歇能够测出含量在1％以下的元素吗

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cat2005
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发表于：2006/10/08 14:46:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
本人想测量一下半导体薄膜中掺杂元素的掺杂情况，也就是想看看是否掺进去，以及相对含量是多少，这个能用俄歇能谱解决吗？这种掺杂元素与主体元素相比，应该在1%以下，不知俄歇能否测出？
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2006/10/13 10:00:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
比较困难，俄歇只是表面灵敏度高，而不是痕量元素的检测强
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zhuyongfa
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2006/10/18 22:54:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一般含量在0.1%以上还是有可能的，但信号会比较弱。对于半导体的掺杂最好还是做SIMS比较合适，信号强度会大得多。
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