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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】ＥＤＸ的分辨率太低了，怎么办？

浏览0 回复19 电梯直达

lucy2008

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发表于：2007/09/18 16:43:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

　　这段时间，我在校正谱峰时发现分辨率总是很低，ＲＥＳＯ值总是在１８０－１９０之间，甚至更高，以前都会在１５０以下，理论值不是１３６ｅｖ左右的吗？这到底是怎么回事，难道是我的能谱仪出了问题？谁能帮帮我啊，现在的重叠峰都没法区分了．

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2007/9/19 14:44:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

帮您顶置，其实这个问题以前早有详细解释，麻烦您先看看以前的帖子。

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lucy2008

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2007/9/19 15:47:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我就是找不到啊！麻烦指点指点!

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毒菇九剑

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2007/9/19 16:37:00 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

用XPS，或者WDS

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xawfnh

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2007/9/22 10:16:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

用二次离子质谱

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2007/9/25 17:44:00 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 sem99 发表:
我就是找不到啊！麻烦指点指点!

可能标题不同，老贴谈的是探头加液氮频繁，原因是探头真空变坏，后果是探头分辨率减低。

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天黑请闭眼

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2007/9/25 21:13:00 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

什么厂家的？有没有按照规定去做分辨率的测定？

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2007/9/25 21:18:00 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 RENXIN 发表:
可能标题不同，老贴谈的是探头加液氮频繁，原因是探头真空变坏，后果是探头分辨率减低。

嗯，我也有印象，是不是这个：
http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20070323/779480/

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eigen

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2007/9/27 10:10:00 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

引用一下：tao____的回答：
“液氮制冷的能谱仪由于工作温度在-150度左右，因此腔体内部需要高真空，但是窗口部分的微漏是不可避免的，因此液氮制冷能谱存在这么一个问题，时间长了以后会真空变差，真空变差导致的后果就是晶体表面结霜，结霜就会造成对轻元素信号的过度吸收，轻元素或者重元素L线系分辨率就会变差，从楼主说的现象来看，应该是真空变差了，可能由于窗口微漏，也可能因为液氮灌和tube连接处微漏，应该及时送回厂家检漏，重抽真空。”

另外请问一下：做分辨率的时候输入计数是1kcps以内吗？

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