主题:【求助】EDX的分辨率太低了,怎么办?

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原文由 sem99 发表:

输入了4kCPS

能谱议的分辨率是厂家在出厂前用铁55放射源在大气环境下测试的,FE55的能量和  MN KA线相同,是5。9KEV,以每秒1000计数左右放射。
所以您要在SEM上测试分辨率的话, 最好有MN样本,然后控制计数率在1000CPS左右,尽量采用最长的脉冲处理时间,最后应该能够测到真实的分辨率。
lsllsllsl
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原文由 eigen 发表:
引用一下:tao____的回答:
“液氮制冷的能谱仪由于工作温度在-150度左右,因此腔体内部需要高真空,但是窗口部分的微漏是不可避免的,因此液氮制冷能谱存在这么一个问题,时间长了以后会真空变差,真空变差导致的后果就是晶体表面结霜,结霜就会造成对轻元素信号的过度吸收,轻元素或者重元素L线系分辨率就会变差,从楼主说的现象来看,应该是真空变差了,可能由于窗口微漏,也可能因为液氮灌和tube连接处微漏,应该及时送回厂家检漏,重抽真空。”

另外请问一下:做分辨率的时候输入计数是1kcps以内吗?
1K 输入计数太小了,对锂漂移硅分辨率测试的时候最好输入计数在2000以上!
gillyang211
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huangtao0307
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你这个EDX我是不太懂了
不过和EDS差不多吧,你调一下sprldize电压试试
yinzhuce
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yinzhuce
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solidsz
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lucy2008
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现在的情况是有时可以,有时不行.最讨厌的是谱峰都不太到位!真烦!!
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