主题:【第十二届原创】聚焦离子束制备透射电镜样品的详细流程及参数

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分析者端木影之队发表于:2019/10/17 21:34:30 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
维权声明:本文为mitchell_dyzy原创作品,本作者与仪器信息网是该作品合法使用者,该作品暂不对外授权转载。其他任何网站、组织、单位或个人等将该作品在本站以外的任何媒体任何形式出现均属侵权违法行为,我们将追究法律责任。
去年原创大赛发过一篇文章,以视频的形式展示了利用聚焦离子束(Focused Ion Beam, FIB)切割制备透射电镜(Transmission Electron Microscope, TEM)样品的整个流程。值此一周年之际,再发一篇图文版的文章,更详细的介绍各个步骤的参数,给大家作参考。



论坛不太方便发表格数据,所以我在word里编辑好了,以截图的形式发出来。



表格中的一些缩写代表的含义如下:
T:Tilt,R:Rotation,S R:ScanRotation;Regular:RegularCross-Section ,Cleaning:CleaningCross-Section;E:Easylift。
另外还有一些其他的注意事项:
1. 装样品和取样前,样品台的位置设置:X:60mm(靠门的最外)、Z:0、T:0;
2. 每次改变束流值后要刷图并调一下聚焦;离子束观察时用30kv、7.7pA,可长开;其他束流太强,只能Snapshot刷图;
3. 基本不用滚轮移动样品位置,而是移电子束/离子束使画面居中;
4. 第2、4、7、9、12和14步等与“镀Pt”有关的步骤需要插、拔GIS的Pt dep;
5. 第2、4、7步中保护层的XY取决于最终要保留的切片大小,表格中只是个示例,参考值;
6. 本表所列参数适合切陶瓷(硬)材料,且焊在铜网爪侧边;不同材料或焊铜网爪顶端的相关参数都需做相应改变。
注:本文只列出了一些关键的信息,对于熟悉或有一定了解FIB仪器的朋友,应该有很大的帮助,但是不了解FIB的人,可能面对这些介绍无法想象出来应该点软件界面的哪个位置。
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全是干货,不想写口水话。太干了,所以篇幅不长。
栀子花开
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夏天的雪
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原文由 栀子花开(qzxmsy) 发表:
如果加点水,估计可以写成万字文
那确实是这样的,流程做成视频都有18分钟,全展示成文字,估计真得上万字。
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2019/10/18 10:07:01 Last edit by mitchell_dyzy
不在话下
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wccd
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很好的干货,如果根据原创格式要求写作,版面会规范一下,过于简洁不利于读者充分理解文章内容。
干货也是需要润一下的,否则太干了就枯燥了。
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2019/10/21 10:58:04 Last edit by wccd
拉菲
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原文由夏天的雪(bingwang228)发表:浓缩的都是精华
好!
Insm_206986f1
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原文由小M(mitchell_dyzy)发表:水平有限,如有错误,敬请指正!
楼主 请问你上面提到的电镜视频在哪里?
小M
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