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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：每周一问7：二次电子检测器不用偏压也能工作正常吗？

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renxin

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发表于：2005/08/29 23:08:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

该帖子已被renxin设置为精华；

我最近遇见一个案子，经典老电镜剑桥仪器S360，二次电子检测器的闪烁体的12KV供电单元坏了，还有检测器的偏压400V也坏了，可是二次电子像几乎还是和以前什么都好用的时候一样清晰，开始我也很糊涂，后来听高手解释才恍然大悟，请问各位为什么呢？

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2005/8/30 11:03:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

怪异！
12KV没有，闪烁体基本不工作；400V没有，二次电子吸引不过来，图像竟然很好！？
想不通！

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shxie

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2005/8/30 11:27:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 semuser 发表:
怪异！
12KV没有，闪烁体基本不工作；400V没有，二次电子吸引不过来，图像竟然很好！？
想不通！

不好意思，给解释一下这几个名词吧：闪烁体？什么12Kv没有？400v没有？

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SeanWen

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2005/8/30 12:38:00 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

闪烁体是二次电子探测器的主要部件2。二次电子打在闪烁体上，发出荧光，然后在光电阴极上再转换成电信号，再被光电倍增管放大……
其他两个不知道了。

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SeanWen

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2005/8/30 12:42:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

难道是背散射电子？但单靠背散射电子不会有这么清晰啊。

还有，那能正常工作吗？如果能正常工作，是不是以后的探测器可以向这方面发展啊。

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shxie

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2005/8/30 15:32:00 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

那么是不是低压工作照样很正常，呵呵

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newkingtor

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2005/8/30 22:01:00 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 renxin 发表:
我最近遇见一个案子， S360，闪烁体的 12KV 供电单元坏了，还有 SE检测器的偏压400V也坏了，可是 SE像几乎还是和以前什么都好用的时候一样清晰，开始我也很糊涂，后来听高手解释才恍然大悟，请问各位怎么看。

呵呵，谈谈我的看法。闪烁体只对数Kev的电子敏感，所以要探测二次电子必须利用400V的偏压将二次电子吸引至闪烁体方向，并利用12Kev将其加速成高能电子以被闪烁体探测。而在楼主所述情况下，显然不再可能探测到二次电子，只可能是背散射电子像。因为背散射电子能量较高，自身已能激发闪烁体使其产生信号。事实上大家也知道二次电子像里含有70％的背散射电子。所以楼主得到的为一背散射电子像。实际上，所谓的二次电子探头也可被该成背散射探头，只需将偏压设置为负电压以排除二次电子即可。顺便说一句，上面有朋友说“12Kev没有，闪烁体基本不工作”，我感觉可能这种说法欠妥，说成闪烁体对二次电子基本不工作是可以的，对背散射电子还是工作的。

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