主题:制样蚀刻

浏览0 回复16 电梯直达
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该帖子已被renxin设置为精华;
不知道蚀刻的作用是什么?主要是处于什么观察目的??
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hereyouare
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我们知道电子束打到试样中时,在试样内部是一个液滴状的空间.那么如何知道是这个形状的呢?我们用PMMA这个有机物,在SEM下用电子束轰击,从而破坏了被照射部位有机物的键结构,然后再将这个试样放入溶剂中,那么被电子束影响到的区域就会被溶解掉了,这样我们做个截面就可以看到电子束在试样中的空间形状了.
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原文由 hereyouare 发表:
我们知道电子束打到试样中时,在试样内部是一个液滴状的空间.那么如何知道是这个形状的呢?我们用PMMA这个有机物,在SEM下用电子束轰击,从而破坏了被照射部位有机物的键结构,然后再将这个试样放入溶剂中,那么被电子束影响到的区域就会被溶解掉了,这样我们做个截面就可以看到电子束在试样中的空间形状了.

这就是蚀刻吗?感觉蚀刻应该是在观察前的样品预处理,可以更好的进行特定的分析(不知道分析什么,呵呵)。不知对不对?请大侠指点!
hereyouare
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我们知道电子束打到试样中时,在试样内部是一个液滴状的空间.那么如何知道是这个形状的呢?我们用PMMA这个有机物,在SEM下用电子束轰击,从而破坏了被照射部位有机物的键结构,然后再将这个试样放入溶剂中,那么被电子束影响到的区域就会被溶解掉了,这样我们做个截面就可以看到电子束在试样中的空间形状了.

这就是蚀刻吗?感觉蚀刻应该是在观察前的样品预处理,可以更好的进行特定的分析(不知道分析什么,呵呵)。不知对不对?请大侠指点!


呵呵,我也不太清楚,感觉应该差不多吧
sysmith
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shxie
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我们知道电子束打到试样中时,在试样内部是一个液滴状的空间.那么如何知道是这个形状的呢?我们用PMMA这个有机物,在SEM下用电子束轰击,从而破坏了被照射部位有机物的键结构,然后再将这个试样放入溶剂中,那么被电子束影响到的区域就会被溶解掉了,这样我们做个截面就可以看到电子束在试样中的空间形状了.

这个是做EDS的电子束形状用的一种方法。见过类似的图片。不过楼主说的可能不是这个。
shxie
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这就是蚀刻吗?感觉蚀刻应该是在观察前的样品预处理,可以更好的进行特定的分析(不知道分析什么,呵呵)。不知对不对?请大侠指点!

是的,一般用来做高分子的刻蚀,可以看球晶之类的东西吧。没有用过,只是听说,一般的喷金设备都有刻蚀一档的吧?
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SeanWen
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原文由 SeanWen 发表:
刻蚀的概念是什么呢?


是啊,这个概念也很模糊啊,不过好像很多喷镀仪都有刻蚀的功能.是不是就是用离子束在样品上打掉表面的材料,露出样品较深层的材料供观察呢?(猜的,请大侠们指教)。
shxie
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原文由 hu_ad 发表:
是啊,这个概念也很模糊啊,不过好像很多喷镀仪都有刻蚀的功能.是不是就是用离子束在样品上打掉表面的材料,露出样品较深层的材料供观察呢?(猜的,请大侠们指教)。

嗯,我也基本这么理解的。我们这边如果用这种方法,一般用来看高分子的。
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