主题:【讨论】怎么样获取一幅高质量的电镜图像

浏览0 回复14 电梯直达
thr051387
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刚刚开始做扫描电镜,FEI的,请教高手,怎么样怎么样获取一幅高质量的电镜图像?
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huangtao0307
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原文由 thr051387 发表:
刚刚开始做扫描电镜,FEI的,请教高手,怎么样怎么样获取一幅高质量的电镜图像?


多練習﹐熟能生巧﹐
拍多了就會發現發技巧的
dlsf
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1.保证仪器电子发射源的清洁;
2.合适的kV与工作距离;
3.调好x/y象散;
4.调焦要有耐心;
5.正确地处理好样品:断口处理、导电性等
starfae
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原文由 dlsf 发表:
1.保证仪器电子发射源的清洁;
2.合适的kV与工作距离;
3.调好x/y象散;
4.调焦要有耐心;
5.正确地处理好样品:断口处理、导电性等

除此之外,最好有经验丰富的人在旁边辅导,避免对仪器造成伤害
大笨狗
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原文由 dlsf 发表:
1.保证仪器电子发射源的清洁;
2.合适的kV与工作距离;
3.调好x/y象散;
4.调焦要有耐心;
5.正确地处理好样品:断口处理、导电性等

我用的是比较早型号的SEM,除此之外,补充一下:
1 调整好轴对中;
2 调象散和调焦结合使用。
redfish
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不同的样品,不同测试目的,采用不同的参数设置
工作距离大的话,则景深大,但分辨率低; 工作距离短的话,则分辨率高,但景深变短
加速电压,越高,有利于提高图像的分辨率和信噪比
      较低,利于观测试样更表面的细节,改善图像的清晰度,采用
      低电压,可以减小电子束的贯穿深度和散射体积 
      对于能谱分析时,加速电压应大于元素的临界激发电压
            一般对于重元素采用电压20KV,而对于轻元素常用电压10KV
束斑大小,减小电子束直径,得到较小的束斑,从而改善分辨率,但同时             
       会减弱束流,束流小的话,激发的二次电子也会减少,成像会     
       变的很暗,信噪比大,对成像不利;

yijing474
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在这里还真能学到不少知识啊
我也是在什么都不懂得情况操作了SEM一段时间
现在还只是一知半解
希望大侠有机会多多指教
本人QQ110418388
txm2008
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我想请问:(1)发射源的清洁如何确保,怎么清洗呀 ? 
          (2)x/y象散怎么理解?
  先谢谢各位大虾!
jzhx68
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原文由 userwuq 发表:
原文由 dlsf 发表:
1.保证仪器电子发射源的清洁;
2.合适的kV与工作距离;
3.调好x/y象散;
4.调焦要有耐心;
5.正确地处理好样品:断口处理、导电性等

我用的是比较早型号的SEM,除此之外,补充一下:
1 调整好轴对中;
2 调象散和调焦结合使用。


补充一下,在能达到要求分辨率的前提下,尽量采用较低的放大倍率,这样的话景深好,照片漂亮。
clarkcyc
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zhabin2
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