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主题：【求助】溅射镀膜的靶材成分

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fengyonghe
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发表于：2013/01/26 17:51:31 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
溅射镀膜的合金靶材有Au-pd和Pt-Pd，这两种合金的成分是多少？哪位知道。
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2013/1/27 17:56:37 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我查了好久也没查到，不过我还要查下去，不相信查不到。
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fengyonghe
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2013/1/30 21:08:17 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谁有Au-PD合金有木有兴趣能谱下！！！看和我查到的一样吗。
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驰奔
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2013/1/30 21:47:54 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一般Au/Pd为80/20,
Pd作用主要是限制Au原子结晶为大的金岛，镀膜颗粒更精细，连续成膜更薄
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fengyonghe
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2013/1/30 23:57:48 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢，经常操作仪器的反倒没人回答。
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178892023
v2708499
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2013/4/17 13:05:10 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
同一台溅射镀膜仪能使用不同材质的靶材吗?
谢谢!
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磨剪子嘞 锵菜刀
amoslau
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2013/4/19 2:53:16 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
99.5%au,0.5%pt
自己做可以在金店做纯金的，直径57mm
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姑苏一梦
babyhk1988
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2013/4/26 14:13:59 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分别是8比2和6比4，Pt-Pd靶材喷镀的颗粒更小
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