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扫描电子显微镜在失效分析中的应用
自从1965年12月商品扫描电子显微镜问世以来,扫描电子显微镜得到了极为迅速的发展,是目前应用最成熟、最广泛、最实用的显微分析仪器,它在冶金、生物、地理、化工、农业等各方面均有极为广泛的用途。本文只简要地介绍一下扫描电子显微镜在失效分析中的应用。
扫描电子显微镜最大特点是:焦深大,分辨率高,放大倍数变化范围广,对试验样品要求底,可直接观察,特别适合对粗糙表面的观察研究。扫描电镜的焦深要比光学显微镜的焦深大数百倍,可以观察粗糙的样品表面清晰细致的三维图象。分辨率是光学显微镜的40倍,配置X射线能谱仪,可直接探测样品表面的微区成分。已经被普遍应用于断口、磨损及腐蚀表面分析,特别适合做产品失效分析工作,因为人们可以首先在低倍下找好所感兴趣的区域,然后再调到高倍进行仔细观察分析,非常实用方便。