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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】Zeiss Supra 40的故障，图像分成四块，求助～～

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polymorph9168

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发表于：2013/05/14 23:27:45 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

昨天上午正常下样的，然后换了样品台，再上样的时候就提示：EO scan 24v Pos supply failed carl zeiss

开始测试之后，TV模式图像正常，切换到扫描模式图像分裂成四块。已经做过系统还原，以及停机重启，均不能解决。工程师说可能是EO board硬件损坏了。

根据之前的经验，换硬件得大半年，但是我们这儿很着急用，所以想问一下有没有可能自己解决。

谢谢各位了

下图是故障示意图，因为门锁上了，没有实拍的图。

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2013/5/15 17:30:09 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我之前装机的时候遇到过这种情况，你看下冷却水是否正常，我上次遇到的时候是冷却水循环有问题，然后就出现了以下情况“EO Scan 24V Pos supply failed!”
按理说报红不会只报一个的，应该是以下四个一起：“Error Number 593 Water flow has failed!!”“EO Objective 24V supply failed!”“EO Scan 24V Pos supply failed!”“EO Scan 24V Neg supply failed!”。（我那次遇到的时候是冷却水被别人关了。）

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2013/5/15 18:17:18 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 gegeyc88(v2675311) 发表:
我之前装机的时候遇到过这种情况，你看下冷却水是否正常，我上次遇到的时候是冷却水循环有问题，然后就出现了以下情况“EO Scan 24V Pos supply failed!”

按理说报红不会只报一个的，应该是以下四个一起：“Error Number 593 Water flow has failed!!”“EO Objective 24V supply failed!”“EO Scan 24V Pos supply failed!”“EO Scan 24V Neg supply failed!”。（我那次遇到的时候是冷却水被别人关了。）

谢谢！我检查一下冷却水。它确实只报红了一个。

下面是图像，低倍就不行，高倍之后图像还算正常，但是图像质量好像也变差了。