主题:最新近红外光谱技术--微光机电系统MEMS 近红外分析仪

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botian
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AXSUN的IntegraSpec?系列多功能近红外分析仪是目前美国近红外光谱领域领袖群仑的尖端产品.

IntegraSpec? 系列的核心技术之一微光机电系统MEMS是近几年在美国发展成熟的先进技术,MEMS芯片的生产工艺同半导体集成电路的生产工艺一样,都是在超净环境全自动化车间里用机械手装配而成.MEMS芯片的生产工艺决定了它同集成电路有很多共同点,它们都是对传统产品的一次革命,都具有高可靠性,高稳定性,高一致性等等特点.

IntegraSpec?系列的另一项核心技术是近红外波段独特的波长可调激光器,其亮度比传统仪器用的灯泡亮度要高好几个数量级,并且激光的波长和强度的短期和长期稳定性非常高.

目前市场上传统的傅立叶近红外光谱仪体积庞大,价格昂贵,对环境温度震动等非常敏感,只能是放在实验室的娇贵仪器,不能适应生产线上的各种复杂环境;另一类近红外光谱仪结实并且体积小,但分辨率灵敏度等各项性能又很难满足用户要求.Axsun公司在背景强大的投资支持下经过几年反复研究开发,最终使得 IntegraSpec?系列微型近红外光谱仪性能超群,适应各种复杂环境而迅速占领美国制药,石化,农业等市场.大规模的生产使得MEMS芯片的成本会变得越来越便宜,其应用前景也将越来越广阔.

建立在先进的微光机电系统(MEMS)技术之上的IntegraSpec?系列近红外光谱仪性能极其优越,稳定可靠,系统集成容易,价格便宜,仪器设计寿命为25年,不需维修,无消耗品,是理想的在线过程控制和便携式近红外分析仪.

其主要性能特点如下:

  1. 坚固结实,分光系统为全密封芯片,电子制冷,恒温工作.因而仪器对使用环境非常不敏感,抗震动,耐冲击,不怕温度湿度变化,特别适用于在线监测和便携式使用.
  2. 光源为波长可调激光器模块,波长和强度稳定性最佳,信号强度高.
  3. 性能优越,各项指标不低于大型而昂贵的实验室用傅立叶近红外光谱仪,而且仪器的一致性好,使用灵活,可以用于气体,液体和固体的透射/反射测量,广泛应用于制药,石化,农业等各行业的过程控制和质量监测.
  4. 采用成熟可靠的半导体集成芯片技术,仪器的设计寿命为25年,无须维修.
  5. 功耗低,只有11到20瓦,电池供电时间长
  6. 独特的专利技术,内置式校正系统(WARM? 波长/信号强度校正模块),使这种仪器可以非常方便地同其它仪器进行模型转换.
  7. 数据采集速度快,一条谱线的采集时间为毫秒级,适用于实时在线测量.
  8. 操作使用简单,仪器的长期稳定性优异,使用成本低.

详情请参考: http://www.sepvest.com/Products/axsun.htm
www.axsun.com
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zab
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又多了家近红外仪器公司了,用户多个选择,公司多个对手了,呵呵
sam.shi
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附件是热电的产品Antaris Target--基于MEMS系统的微型近红外分析仪,专门用于粉末混合过程的终点判断分析。


Target 混合过程分析仪
热电近红外系列产品
liwutian
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michealzhang
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zab
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和lz简单交流过一次,感觉是个非常好的东西,不过和现在的近红外技术一样,存在一个推广的问题。预祝lz仪器大卖。希望lz有更详细的介绍,让我们长长见识。
zyj8313
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shengxia
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botian
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详细一点的介绍见附件,更多的材料可以参考:http://www.sepvest.com/Products/axsun.htm 技术资料部分,目前还都是英文,中文信息还需要过一段时间.

这里先介绍MEMS仪器的生产工艺,其它下次再谈.这种仪器的生产工艺是这样的:
1. 首先是微型光学元件的生产.这些微米级的反射镜,法布里-伯罗滤光片等的生产工艺称为LIGA,同集成电路的生产有些类似,先在半导体材料上掩膜,然后用X光曝光,最后电铸生产出细小的元件.这里的X光目前只能用大型同步辐射装置产生,AXSUN公司在加州伯克利的同步辐射装置上建有一条自己的光束线,专门用于生产这些微型光学元件.这是世界上唯一一条商用同步辐射光束线.

2. 微型光学元件生产出来后,就需要将它们装进芯片里,这个芯片称为MEMS,即微光机电系统.这个过程完全由机械手在超净车间自动完成.

3. 芯片生产出来后,剩下的就是组装仪器了,这就和传统的仪器行业的生产过程差不多了.这种集成化的仪器的可靠性是传统仪器所不能比拟的,权威机构估算AXSUN仪器的故障率是每一千万仪器运行小时的故障小于5次!

对LIGA工艺感兴趣的请参考中国科大的相关网页: http://www.nsrl.ustc.edu.cn/cn/exp_departmt/beamline_station/1liga.html,

台湾有一个网站对LIGA和MEMS的介绍比较详细,请参考: http://elearning.stut.edu.tw/m_facture/Nanotech/Web/ch2.htm




MEMS Spectrometers PPT
mybear
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能具体介绍一下分光系统吗?这是最主要的。
原文由 botian 发表:
AXSUN的IntegraSpec?系列多功能近红外分析仪是目前美国近红外光谱领域领袖群仑的尖端产品.

botian
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分光系统就是MEMS芯片,其核心是Fabry-Perot干涉仪.Fabry-Perot的原理是利用光线在晶体内多次反射,多次反射的光程差导致干涉现象.可以参考: http://hyperphysics.phy-astr.gsu.edu/hbase/phyopt/fabry.html#c1
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