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主题：【求助】电镜照片出现横条纹，是探头脏了么？

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zongweixu
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发表于：2007/06/19 11:17:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
ETD探头获得的金膜样品SEM形貌存在明显的横条纹，如下图。

TLD探头获得的金膜样品形貌条纹影响较小，只是在10万倍以上放大倍数条件下才会有一点，如下图。



维修工程师怀疑是我们的ETD探头脏了，利用吸耳球对着ETD探头(具体位置是闪烁体)吹风后，仍然无法消除条纹。作其他样品也存在这个问题。

请各位网友帮忙出出主意，设备刚安装完2个月，就出现这种问题，真是急人啊！

谢谢大家！
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youngken007
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2007/6/19 13:10:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zongweixu 发表:

ETD探头获得的金膜样品SEM形貌存在明显的横条纹，如下图。
[~55379~]
TLD探头获得的金膜样品形貌条纹影响较小，只是在10万倍以上放大倍数条件下才会有一点，如下图。

[~55380~]

采用的是FEI公司的Nova Nanolab 200,维修工程师怀疑是我们的ETD探头脏了，利用吸耳球对着ETD探头吹风后，仍然无法消除条纹。作其他样品也存在这个问题。

请各位网友帮忙出出主意，设备刚安装完2个月，就出现这种问题，真是急人啊！

谢谢大家！


会不会是coating的问题，造成图像over-charge？建议改变coating条件（coating时间和电流强度）再试一下。
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zongweixu
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2007/6/19 13:46:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
怪我没有表达清楚，使用的是公司提供的标准样品金颗粒。所以，应该排除样品的因素。
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semuser
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2007/6/19 15:37:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这种问题比较麻烦，多种可能性，只能一样一样排除，闪烁体污染、探头高压、光电倍增管、电源干扰、地线干扰.......
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zongweixu
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2007/6/19 19:11:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
闪烁体污染、探头高压、光电倍增管、电源干扰、地线干扰.......

工程师说应该不是高压引起的（其引起的是图像扭曲），电源和地线干扰的可能性不大，可能就真是探头脏了。。。

555555
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RENXIN
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2007/6/21 15:51:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zongweixu 发表:
闪烁体污染、探头高压、光电倍增管、电源干扰、地线干扰.......

工程师说应该不是高压引起的（其引起的是图像扭曲），电源和地线干扰的可能性不大，可能就真是探头脏了。。。

555555

您的安装工程师水平太差了，  对着探头吹气真是太可笑了，  看来FEI只知道卖SEM， 技术服务实在难以恭维。
SEMUSER朋友的五种推测是相当准确的。
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sunnysky
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2007/6/28 16:13:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
还可以再试试背散射图象以便进一步确认,本人感觉像探头高压或光电倍增管电压不稳,电路板上图象处理部分也有可能出问题,只能一点点查了
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zongweixu
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2007/7/1 16:25:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢大家的支持！谢谢！
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wbslandy
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2007/7/7 16:57:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
高倍率下看样品图像的边界有明显的波纹,我用的HITACHI 的S-5200 SEM 也出现过类似的症状, 叫HITACHI的上海办事处的工程师过来处理,也没有处理好, 后还是把在日本总部的专家找来才解决, 楼主应该从分子泵的安装状态进行检查,检查分子泵是否安装紧,分子泵工作时的轻微震动会引起图像出现毛刺波纹.
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semuser
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2007/7/7 20:31:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
从现在的图像上看，主要是横向贯穿图像的条纹，应该和图像采集系统相关，分子泵震动应该是引致图像的锯齿状干扰，应该不会引起条纹。
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schokolade38
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2007/7/24 15:16:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 RENXIN 发表:
原文由 zongweixu 发表:
闪烁体污染、探头高压、光电倍增管、电源干扰、地线干扰.......

工程师说应该不是高压引起的（其引起的是图像扭曲），电源和地线干扰的可能性不大，可能就真是探头脏了。。。

555555

您的安装工程师水平太差了，  对着探头吹气真是太可笑了，  看来FEI只知道卖SEM， 技术服务实在难以恭维。
SEMUSER朋友的五种推测是相当准确的。


版主大人， 我就是那位您觉得可笑的工程师， 本人入行不久， 且才疏学浅， 承蒙您的批评指教， 既然您觉得SEMUSER说的五种推测是准确的， 那么我就不明白了， 如果您是工程师的话您会怎么去做， 首先带着所有环境测试的设备去测场地？测地线也不是拿万用表就能量的;我想所有思维正常的人都会首先去检查最直观的的地方， 也就是GRID 和闪烁体，闪烁体和导光管最简单有效的清洁方法就用气吹洗，拆下探头在CHAMBER内的部分去吹洗（客户做过粉末样品的尤其）只有先排除这些最容易检查的地方后才能继续检查其他的地方或者替换探头高压板之类。
    希望本人不会导致您对FEI的反感。FEI不是只知道卖SEM的， 感觉您有些商业攻击的意思了，还有售后服务的技术也不劳您恭维了， 广大FEI的用户比您有发言权。 
    得罪了， 感谢对此版的管理， 让大家有这么好的交流空间，我也会从今开始多向包括您在内的专家们多学习， 共同提高我们的应用及维修水平。
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