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主题：【讨论】SiGe的TEM测试哪里可以做？怎么弄？高人指点一下

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lily_hanchun
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发表于：2007/07/09 15:37:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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偶是一个微电子的研究生。组里面做了一张片子，针对SiGe合金，我们想测试一下。但是没有测过，还望各位测量高手帮帮忙！
  首先，不知道我们的SiGe片子要怎么制样？切角的选取？另外，收费的情况是什么样的？全部都是以hour计时吗？那我们一张片子要耗几个小时呢？总共花费大概是多少呢？有些地方的TEM不太欢迎测SiGe材料，实在是很头痛。哪些地方会比较方便呢？
  看到自己上一段很多的“？”，实在是很多东西不知道，还望大家帮帮忙！
  千恩万谢！
推荐答案：molybdenum回复于2007/07/17


你在成都的话，可以去成都理工，我知道那里一定有TEM的。
XRD只能做晶体结构，想用它看缺陷可能办不到吧
补充答案：

longwood回复于2007/07/09

要做截面还是平面？如果你自己不做TEM,就不要管制样了。
GeSi还是很受欢迎的，Strain 分析，成分分析，研究了很多了。

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2007/7/9 20:14:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
要做截面还是平面？如果你自己不做TEM,就不要管制样了。
GeSi还是很受欢迎的，Strain 分析，成分分析，研究了很多了。
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molybdenum
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2007/7/9 21:52:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 lily_hanchun 发表:
偶是一个微电子的研究生。组里面做了一张片子，针对SiGe合金，我们想测试一下。但是没有测过，还望各位测量高手帮帮忙！
  首先，不知道我们的SiGe片子要怎么制样？切角的选取？另外，收费的情况是什么样的？全部都是以hour计时吗？那我们一张片子要耗几个小时呢？总共花费大概是多少呢？有些地方的TEM不太欢迎测SiGe材料，实在是很头痛。哪些地方会比较方便呢？
  看到自己上一段很多的“？”，实在是很多东西不知道，还望大家帮帮忙！
  千恩万谢！


制样有两种，一种是粉末样品粘在导电材料上面；另一种是制成离子减薄片。后一种在纳米研究中应该广泛。
收费嘛，也有两种方式，有的以小时计算，我以前做的时候1小时100人民币；也有按样品数量计算的，象你一个样品，而且拍一个照片也花不了几分钟，所以估计按数量计算他们才划算。你的样品主要是制样麻烦，估计最后300人民币可以搞定吧。
一般大学里面都有TEM，最好跟你所在地的大学联系一下。
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lily_hanchun
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2007/7/10 9:32:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
先谢谢两位的指点！非常感谢！
我们主要是想看看界面缺陷，应力情况。其实我们学校（成都电子科大）也有TEM，但是坏了，不能用。上次在川大测了一个XRD，我们开始还是很放心的把片子交给他们，但是，由于操作人员的技术问题，弄出来的图片都没有衬底的Si峰，所以很担心。我不知道哪里做TEM弄得比较好，主要是要保险一点。如果各位知道，还望不惜赐教！小妹拜谢不已！
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2007/7/17 22:13:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 lily_hanchun 发表:
先谢谢两位的指点！非常感谢！
我们主要是想看看界面缺陷，应力情况。其实我们学校（成都电子科大）也有TEM，但是坏了，不能用。上次在川大测了一个XRD，我们开始还是很放心的把片子交给他们，但是，由于操作人员的技术问题，弄出来的图片都没有衬底的Si峰，所以很担心。我不知道哪里做TEM弄得比较好，主要是要保险一点。如果各位知道，还望不惜赐教！小妹拜谢不已！


你在成都的话，可以去成都理工，我知道那里一定有TEM的。
XRD只能做晶体结构，想用它看缺陷可能办不到吧
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lily_hanchun
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2007/7/18 13:35:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢！我们上次没有用XRD来看缺陷。只是想说明有些号称对外测试的测试让人很不满意。再次感谢，我问问看。
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