主题:【求助】分子涡轮泵的问题

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linda7872
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分子涡轮泵自动减速,停止。之前的征象是泵电流起初略高,~265mA,后来超高,~500mA,并停止工作。已经做过的诊断是diagnosis通过,前级泵无问题,风扇和电子元件除尘处理,仍无改善。我猜想会不会是泵自我保护?或是泵坏了(最好不是这样)
请问高手:
泵电流在哪些情况下会跑高?问题可能出在哪里?现在该做如何处理?
谢谢!
推荐答案:newdayyeah回复于2007/10/08
泵电流高跟两个因素有关:
1、漏气造成真空泵负荷过大,类似于刚开机时泵电流一般都很高。是否有查看真空度?
2、环境温度过高,是否有开空调?
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newdayyeah
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泵电流高跟两个因素有关:
1、漏气造成真空泵负荷过大,类似于刚开机时泵电流一般都很高。是否有查看真空度?
2、环境温度过高,是否有开空调?
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原文由 newdayyeah 发表:
泵电流高跟两个因素有关:
1、漏气造成真空泵负荷过大,类似于刚开机时泵电流一般都很高。是否有查看真空度?
2、环境温度过高,是否有开空调?


谢谢,上述两原因已排除。初步推测泵可能坏了,仍有另一个奇怪的现象:离子规显示2~8mtorr,而正常值是~21mtorr
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