主题：【讨论】关于使用椭偏仪测量薄膜厚度、吸收系数、折射率存在的缺陷

原文由 liugw123450 发表:
最近工作上涉及到椭偏仪，想知道椭偏仪测量的优点与缺点都有什么？
我看了一些资料，说椭偏仪测量存在如下缺点：
1、薄膜基片如果是透明的，那么对样品的前处理会很麻烦，很费钱
2、如果样品是有机物薄膜，椭偏仪很难测出结果来
3、椭偏仪测量得到的数据需要手工处理，很复杂，非专业人员无法处理，暂时没有软件可以直接得薄膜的厚度、折射率、吸收系数值
4、测量吸收系数时不能同时测量透射光与反射光，所以得到的吸收系数是有误差的

不知道以上观点是不是正确？
为什么薄膜的基片不能是透明的？透明的基片对薄膜厚度测量有什么影响？
为什么很难得到有机物薄膜的厚度？

请指教，谢谢!

不知道是否还有其他缺点？

原文由 handsomeland 发表:
没用过椭偏仪，胡乱评论一下：
1、椭偏仪适用于微米级的膜厚测量，200nm以下的薄膜可能不行；
2、对于强吸收性薄膜材料，理论上无法测量；
3、透明基体的材料原则上也可以测量，只要在薄膜/基体界面存在可探测的反射信号；
4、有机薄膜只要厚度在椭偏仪测量范围内，只要有反射信号，可以测量。

原文由 tianzhen 发表:
我们有椭偏仪,但不是我用,有些问题我略知一二
1.椭偏仪是利用材料对偏振光的反射来测定膜厚等参数的,所以基片不能透明,因此时没有反射光.
2.椭偏仪用的光是紫外光(有少量波长到z红外的),是不是有机物对紫外有吸收?
3.椭偏仪的数据处理非常复杂,就是因为这个原因我才没接,让别人去做了,但他根本就没学会
4.这一条我说不清楚.

原文由 liugw123450 发表:
最近工作上涉及到椭偏仪，想知道椭偏仪测量的优点与缺点都有什么？
我看了一些资料，说椭偏仪测量存在如下缺点：
1、薄膜基片如果是透明的，那么对样品的前处理会很麻烦，很费钱
2、如果样品是有机物薄膜，椭偏仪很难测出结果来
3、椭偏仪测量得到的数据需要手工处理，很复杂，非专业人员无法处理，暂时没有软件可以直接得薄膜的厚度、折射率、吸收系数值
4、测量吸收系数时不能同时测量透射光与反射光，所以得到的吸收系数是有误差的

不知道以上观点是不是正确？
为什么薄膜的基片不能是透明的？透明的基片对薄膜厚度测量有什么影响？
为什么很难得到有机物薄膜的厚度？

请指教，谢谢!

不知道是否还有其他缺点？

原文由 liugw123450 发表:
非常感谢，您们提供的信息非常有用。
椭偏仪的光谱一般不超过1000nm 但是好像现在也有能达到2000多纳米的了，不知道对不对？
请高人指教！

原文由 liugw123450 发表:
最近工作上涉及到椭偏仪，想知道椭偏仪测量的优点与缺点都有什么？
我看了一些资料，说椭偏仪测量存在如下缺点：
1、薄膜基片如果是透明的，那么对样品的前处理会很麻烦，很费钱
2、如果样品是有机物薄膜，椭偏仪很难测出结果来
3、椭偏仪测量得到的数据需要手工处理，很复杂，非专业人员无法处理，暂时没有软件可以直接得薄膜的厚度、折射率、吸收系数值
4、测量吸收系数时不能同时测量透射光与反射光，所以得到的吸收系数是有误差的

不知道以上观点是不是正确？
为什么薄膜的基片不能是透明的？透明的基片对薄膜厚度测量有什么影响？
为什么很难得到有机物薄膜的厚度？

请指教，谢谢!

不知道是否还有其他缺点？

原文由 danyan0629(danyan0629) 发表:
希望对大家有用！这两天也在看这个东西，呵呵：）我们用TPY-2 天津拓普的国产设备，目前在调试。希望大家可以多讨论。