原文由 dongfanghaoxia 发表:
都知道,SEM电子被10kV左右的高压加速后,轰击样品表面,一般穿透深度可达上百纳米,对于原子序数低的样品穿透深度会更深。
对于单分散在某种衬底上的纳米颗粒,直接做 X射线元素能谱分析,我认为是没多大意义的,因为能谱仪探头收集的信息主要来自衬底,而不是纳米颗粒。
怎么测?简单的办法是,不要象测型貌一样分散的很开那种,要将较多的纳米颗粒涂敷到某种导电衬底表面上,比如Si衬底(测试元素不含Si时),样品层厚度最好达到几十微米厚或更厚,然后测能谱。如要求结果更准确些,则将较多的纳米材料进行压片处理,作成一个小药片似的致密块体,表面相对光滑那种,然后再测能谱,结果应该更理想些。压片处理是用压片机高压将粉末压制成柱状块体。