原文由 zhufangwei 发表:
昨天晚上换了一下泵油,重新开机,按照常例抽了两个小时打开电子开关,真空状态提示为“Manifold pressure Too High:Disable HV”。上次重开机也发生过这样的情况,不过约半个小时就提示Vacuum OK了。这回就不那么走运了,从晚上6点开机完成等到晚上12点还是提示“Manifold pressure Too High:Disable HV”。没得办法等到今天造成来看才提示Vacuum OK了。以前是一开机都提示真空度正常的。
以前没特别留意Turbo pump:Running下面一些参数的值,昨天特别留意了一下。
speed(HZ):750, power(w):74.4
Temperature(℃):41,life Time(Hour):15538.7
Temperature昨天就在升,昨天升到43℃。今天看变成45℃了。是不是能从这些参数间接的看出分子涡轮泵是否正常工作。
为什么现在开机了要等那么常时间真空度才正常呢,难道是因为换油的原因么,油是冷的问题不够,还是因为分子涡轮泵的原因。大家都来讨论一下哈。
原文由 tanggangfeng 发表:原文由 zhufangwei 发表:
是不是泵油加的不够啊
不是的,是加在最低刻度线和
不是的,是加在最低刻度线和最高刻度线之间的,靠近最高刻度线
能看得到真空压力显示吗?一般 机械泵的能抽到3torr以下,分子涡轮泵在10 的-6次。 还有一点 ,你们以前升温也怎么慢 ? 我们升的很快的,1.5-2个小时可以升到所需的温度。