原文由 huangtao0307 发表:
各位大俠請幫忙解釋一下EDS定量分析時C含量偏高的原因﹖
有什么辦法可以改善嗎﹖
猜测一下:
你用的是牛津或者Horiba的能谱,而且用的一定是无标样定量吧?
有办法解决,如下:
1.如是样品或者电镜内部不洁净造成的,清洗样品,避免样品长时间处于电子束的轰击下。
2.排除样品的原因,那就是能谱系统本身造成的。可通过和样品类似的标样标定再做定量。
3.上述的两家能谱的准直器都是铝制的,为了防止二次激发准直器的铝,厂商在准直器内部涂了碳,这就造成了碳元素测不准,这一点只能通过向厂商定制特殊的准直器来解决。