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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【讨论】EDS定量分析時C含量偏高

浏览0 回复12 电梯直达

huangtao0307

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发表于：2008/11/12 11:42:35 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

各位大俠請幫忙解釋一下EDS定量分析時C含量偏高的原因﹖
有什么辦法可以改善嗎﹖

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2008/11/12 14:26:23 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

首先看一下你用的是什么导电胶大部份导电胶都是碳质的样品发射的x射线入射到导电胶上激发导电胶中的元素产生二次x荧光。所以做EDS时免不了背地材料的干扰。换不含碳的导电胶试试。
第二看一下你的能谱仪对低原子序数元素测量的准确度做定量时碰到低原子序数元素时准确度的可能降低。

该帖子作者被版主 huangtao0307加 3积分， 2经验，加分理由：答案經典

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jackyzhao

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2008/11/18 20:17:41 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

可以用等离子清洗一下你的样品，试试看

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zhaotao3

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2008/11/25 0:13:35 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

EDS根本就不适合用来定量分析C等轻元素，最好换别的方法。

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ID：RENXIN

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2008/11/25 16:51:59 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 jackyzhao 发表:
可以用等离子清洗一下你的样品，试试看

高招，值得一试。

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德国工兵

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2008/11/26 17:50:20 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 huangtao0307 发表:
各位大俠請幫忙解釋一下EDS定量分析時C含量偏高的原因﹖
有什么辦法可以改善嗎﹖

猜测一下：
你用的是牛津或者Horiba的能谱，而且用的一定是无标样定量吧？
有办法解决，如下：
1.如是样品或者电镜内部不洁净造成的，清洗样品，避免样品长时间处于电子束的轰击下。
2.排除样品的原因，那就是能谱系统本身造成的。可通过和样品类似的标样标定再做定量。
3.上述的两家能谱的准直器都是铝制的，为了防止二次激发准直器的铝，厂商在准直器内部涂了碳，这就造成了碳元素测不准，这一点只能通过向厂商定制特殊的准直器来解决。

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