实战宝典 原创大赛 仪器问答 仪友会 总帖：8091959今日发帖：46 我的社区 签到
快速导航 采购仪器 提醒
扫描电镜（SEM/EDS）
版主:
入住本版
专家:
居民列表

主题：【求助】如何分析SEM得到的图片

浏览0 回复8 电梯直达
zhaogod
头像
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
发表于：2012/06/12 21:33:36 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

如上图所示，我想对一个样品看它的截面（我首先对衬底上长的一层物质进行刻蚀（大致为500nm，然后想用SEM观察这个刻蚀界面的形状）。于是，我首先以cross section的方式放好样品，而后讲样品旋转30°。最后得到上面的图样（左）。由于我是初次接触SEM故而我不能由图中分析出界面的粗糙与否（因为这里涉及到旋转了30°）。请大家给出你们的看法，这个图片该怎么分析？也请有经验的大师推荐一些分析SEM图片的资料。谢谢!
为您推荐
近期热榜
热门活动
您可能想找: 扫描电镜（SEM） 询底价
选参数 看心得 找厂商 查方案
专属顾问快速对接
立即提交
相关阅读
rainyweek
rainyweek
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2012/6/18 15:36:16 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没看到图？
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
驰奔
srd2009
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2012/6/19 8:28:04 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
照片放大倍数大约为85000倍左右，宽度代表的样品区域大约为 1500nm。
断面做的不够理想，似乎表面那层膜盖在剖面上！图像调节的不够清晰。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
小M
mitchell_dyzy
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2012/6/20 21:47:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
截面不粗糙，上下两个表面粗糙
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
xx2882xx
xixiaoning
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2012/6/21 15:07:28 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
A到B之间的粗黑线是什么？
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
littlebean
littlebean
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2012/7/9 9:03:10 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
sub是啥材料的？镀的膜又是啥材料呢？5000A不是很薄了。

如果你想测试刻蚀后的表面粗糙度的话，我知道AFM可以测。

想观察截面的话，一定要掰好，因为掰断的原因，形成的截面测试出来的数据会比实际值偏大一点点。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
p3047445
p3047445
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2015/10/13 20:53:29 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看不到图啊
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
v2970862
v2970862
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2015/10/15 17:47:11 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
大家好，11月9日在北京举办电镜的分析技术及应用的培训，详情咨询：010-57146768或Q1846223526
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
cvbs11
cvbs11
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2015/10/21 8:15:49 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 littlebean(littlebean) 发表:
sub是啥材料的？镀的膜又是啥材料呢？5000A不是很薄了。

如果你想测试刻蚀后的表面粗糙度的话，我知道AFM可以测。

想观察截面的话，一定要掰好，因为掰断的原因，形成的截面测试出来的数据会比实际值偏大一点点。
AFM是可以测表面粗糙度的，但是要有基面参照才可以
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
手机版： 如何分析SEM得到的图片
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
头像
高级回复 发表评论
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁