主题:【讨论】【请教】SEM空压机放水警报怎么回事?

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我所操作的电镜室日立,S4800,因为最近是梅雨天气。所以给空压机放水成了每星期必做的维护。可是为什么现在放水的时候,SEM都会响警报呢?而且响警报的时候,过度仓也会重新抽真空。以前不会的,这让我很困惑。我是把操作台和循环水全部关了以后再放水的。
推荐答案:fengyonghe回复于2009/06/29

开机前放水不就得了,关循环水引起报警是正常的。
补充答案:

asahi42回复于2009/07/02

空压机放水完全不用关电镜和循环水的呀,而且循环水是最后关的一个单元,不关问题也不大的~

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倒抽油的事件,我只听说过一次。循环水出故障,不Cooling了,结果温度升老高,油被倒抽进了镜筒
fengyonghe
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原文由 sem1233 发表:
我所操作的电镜室日立,S4800,因为最近是梅雨天气。所以给空压机放水成了每星期必做的维护。可是为什么现在放水的时候,SEM都会响警报呢?而且响警报的时候,过度仓也会重新抽真空。以前不会的,这让我很困惑。我是把操作台和循环水全部关了以后再放水的。

开机前放水不就得了,关循环水引起报警是正常的。
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不是关闭循环水报警。是空压机防水报警哦。循环水是在操作台关闭后关的,是没问题的
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asahi42
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空压机放水完全不用关电镜和循环水的呀,而且循环水是最后关的一个单元,不关问题也不大的~
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