原文由 jwdeng 发表:
对很多亚稳态材料,离子减薄时可能存在一个临界的减薄电压。比如某材料,文献报到用691减薄时,电压不能超过3.5KeV,没有给电流值。但不同691减薄仪,设定同样电压时,显示的电流好像也不一样。比如我们同样设定3.5KeV时,新691可能有6-7uA,老的只有3uA左右。是不是新旧机器不同,电流不同,两者的辐照影响也是不一样的啊,还是电压一定,离子束的损伤就是一定的啊,请大家解答。
另外,不知道离子减薄仪的电压,电流代表的物理意义是什么,如何判断一个电压下的最佳电流值是多少。