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主题：【第八届原创】采用FIB切割样品时，样品保护注意事项

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仙后婧婧（谭思婧）
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发表于：2015/07/30 18:40:19 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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随着纳米技术的逐渐成熟，人们迫切的希望能够像对宏观样品进行机械加工那样，对纳米尺寸的材料也能够进行人工操作，进而更深入的认识纳米材料的形貌以及相关性能。在这样的背景下，被称为那“纳米手术刀”的聚焦离子束系统应运而生了。
聚焦离子束(Focused Ion beam, FIB)的系统是利用静电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微加工仪器。通过荷能离子轰击材料表面，实现材料的剥离、沉积、注入和改性。现代先进FIB系统为双束，即离子束+电子束（FIB+SEM）的系统。在SEM微观成像实时观察下，用离子束进行微加工。

图2. TEM试样制备

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仙后婧婧（谭思婧）
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2015/7/31 11:00:43 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
FIB切割的时候，样品保护是非常重要，不然高能量打出来的样品结构都变了，白分析
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