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主题：【求助】新手求抽真空步骤

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发表于：2010/07/08 16:10:50 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我用的是很老式的sem，上海国产的。
现在组装起来，但是对抽真空不理解。
那位高手能告诉我抽真空的具体步骤，越详细越好。
  先在这谢谢了！
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2010/7/12 10:52:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
资深专家告诉你：
    抽真空的步骤是这样的：
  1、先启动机械泵，抽镜筒，使其处于低真空状态；
  2、抽扩散泵，使其处于低真空，然后打开扩散泵加热，等达到扩散泵工作状态（大约20分钟左右），再次用机械泵抽镜筒，然后就可以打开镜筒-扩散泵阀门，连通镜筒--扩散泵--机械泵，正常工作了。
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2010/9/9 9:28:07 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼上的说的很清楚了。
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