原文由 semuser 发表:
这个问题其实很简单,别的厂家就不会有这种事:
样品室的高真空应该是由真空检测规测量出来的,然后由真空逻辑控制板检测是否达到开高压的允许值,这样抽真空时间只由真空系统的状态和样品出气情况决定;
但电子偏偏潘宁规是选配,不装的话不能测出高真空达到没有,所以只能做一个延时电路,估计时间到了,然后可以打开高压,这样有两个麻烦,一是真空可能没到,比如有漏气、真空泵工作不正常,打开高压肯定出事;二是延时电路老化,越往后延时越长,只能隔几年调一次电阻,不然的话,虽然真空早到了,抽半天也不让你开高压。
原文由 renxin 发表:原文由 semuser 发表:
这个问题其实很简单,别的厂家就不会有这种事:
样品室的高真空应该是由真空检测规测量出来的,然后由真空逻辑控制板检测是否达到开高压的允许值,这样抽真空时间只由真空系统的状态和样品出气情况决定;
但电子偏偏潘宁规是选配,不装的话不能测出高真空达到没有,所以只能做一个延时电路,估计时间到了,然后可以打开高压,这样有两个麻烦,一是真空可能没到,比如有漏气、真空泵工作不正常,打开高压肯定出事;二是延时电路老化,越往后延时越长,只能隔几年调一次电阻,不然的话,虽然真空早到了,抽半天也不让你开高压。
同意您的看法,日本电子的电镜, 还有不只是日电的, 可能所有的日货电镜都有这个真空读数毛病,像我用过的TOPCON电镜。
原文由 semuser 发表:
这个问题其实很简单,别的厂家就不会有这种事:
样品室的高真空应该是由真空检测规测量出来的,然后由真空逻辑控制板检测是否达到开高压的允许值,这样抽真空时间只由真空系统的状态和样品出气情况决定;
但电子偏偏潘宁规是选配,不装的话不能测出高真空达到没有,所以只能做一个延时电路,估计时间到了,然后可以打开高压,这样有两个麻烦,一是真空可能没到,比如有漏气、真空泵工作不正常,打开高压肯定出事;二是延时电路老化,越往后延时越长,只能隔几年调一次电阻,不然的话,虽然真空早到了,抽半天也不让你开高压。