主题:【第十一届原创】浅谈石墨烯的转移方法

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石墨烯的出现在科学界激起了巨大的波澜,科学家对其应用前景充满希望,但由于石墨烯只有一个或几个原子厚度,所以规模化制备和转移仍是石墨烯研究的一个重大课题,今天借第十一届原创大赛的平台,跟他们一起浅谈下我在学习过程中了解到的石墨烯转移方法。
石墨烯的理论性能非常优异,电导率非常高,热导率比一般材料都高两个量级,迁移率能达到硅的100倍,尽管如此,石墨烯产业化还很困难,除去合成的石墨烯性能达不到理论值(因为CVD法合成的石墨烯是多晶的,性能比单晶的还差很多),转移过程对石墨烯的性能影响也很大,较差的转移方法会导致石墨烯性能的大幅下降。由于石墨烯本身很柔软,很薄,超声清洗和接触式清洗都适用,因此,寻求一种干净的转移方法至关重要。
目前,最常用的转移方法又两种:一种是应用PMMA作为载体材料将石墨烯转移到目标基体上,这种方法是先将PMMA旋涂在石墨烯上,然后刻蚀掉金属基体,再将石墨烯和PMMA转移到目标基体上,最后用溶剂冲洗掉PMMA,这样会造成PMMA和溶剂残留,且溶剂冲洗会损坏石墨烯,大面积石墨烯也不易旋涂PMMA,金属基底也不能循环利用;另一种方法是roll-to-roll(R2R),即用热释放带(TRT)做短暂支撑,这种方法可转移大面积连续性好的石墨烯,但热释放带上的有机粘合剂会对石墨烯造成很大的污染,这两种方法都是依靠化学粘合力转移石墨烯。转移石墨烯的方法有很多,按照是否刻蚀基底将其分为两大类。
刻蚀转移法(etch)
虽然此类方法没避免刻蚀,但较传统转移方法有很大的改进,下面介绍三种方法。
(1)静电荷法
种方法利用静电力将石墨烯转移到目标基体上,叫做“clean-lifting transfer(CLF)”,它不引入任何类似PMMA的有机基体,省去了将石墨烯先转移到过渡膜上的步骤,直接将其和目标基体利用静电荷吸引结合在一起,具体步骤如图1,先用静电发生器(SIMCO,18kv)在目标基体上铺均匀的负电荷,操作时距基体一英尺,然后利用静电吸引将Cu基上生长的石墨烯贴在上面,随后用Fecl3溶液刻蚀Cu基体,刻蚀后用去离子水冲洗掉残留的腐蚀剂,最后用N2进行烘干,就得到单层石墨烯,但由于单层石墨烯没有足够高的面导电性,所以重复步骤A-D可获得多层石墨烯。此外,这种方法还对目标基体进行疏水自组装预处理,可提高其与石墨烯的粘结力,也可减少刻蚀和去离子水冲洗过程中的杂质污染。转移后,用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、拉曼光谱(Raman)、X射线光电子谱(XPS)对石墨烯进行表征,发现转移后的石墨烯表面质量很高,面积也很可观。

   


图1 静电荷法转移石墨烯的过程

此法可实现大面积石墨烯转移,避免了残留过渡膜和有机溶液的污染(直接转移到目标基体上),且层数可控;虽采用自组装预处理减少Fecl3残留,但不能循环利用Cu基体造成成本很高,且多层叠加转移表面的平整性仍需要改进。
(2)塑封法
    这个方法是一个国内硕士生发对传统PMMA法进行改进提出的,虽有很多局限性,但想法很好。传统PMMA转移法只能小面积转移,此方法用塑封膜代替PMMA(塑封膜上有一层环氧树脂),解决了大面积不能旋涂的问题,对Cu基上的石墨烯进行压印,特别的是,在Cu基体下垫一层PET,压印时保证平整。压印使用塑封机(如图2(a)),压印后用marbles’ rechant(对石墨烯损伤小且刻蚀速度快,半小时内)将Cu刻蚀掉并用去离子水反复冲洗,减少刻蚀液的残留。转移后仅对石墨烯进行了压前压后电阻的测试与比较,对表面质量未进行表征。
这种方法结合生活实际,在刻蚀液上和过渡膜上进行改进,且能实现大面积转移;但仍然不能避免Cu基体的刻蚀,就会不可避免地引入杂质,塑封膜虽然解决了大面积转移问题,但去除塑封膜仍会需要有机溶液,所以这种方法仅仅提供了一个较新的思路,还需改进。

 
图2 (a)塑封机 (b)塑封后的石墨烯


(3)压敏胶膜法(PSDF)
    如图3所示,这种方法在经典的刻蚀Cu基底-PMMA做支撑膜的方法上做了改变,将PMMA换成PSAF(pressure sensitive adhesive films),因为PMMA是刚性膜,所以保持的Cu的纹理使其与目标基底不能完全贴合,而PSAF有很好的可塑性,可以对其施加均匀压力使石墨烯与目标基底完美贴合,使转移的石墨烯更平整,残留物更少(PMMA难去除干净),操作也很简单,室温就可以操作,因此石墨烯的性质得到了较好的保留,但仍然涉及到Cu的刻蚀,成本较高,也会引入掺杂(刻蚀液)。
   

 
图3 PMMA-PSAF转移石墨烯示意图

(a) PMMA转移石墨烯过程    (b) PASF转移石墨烯过程

避免刻蚀转移法
刻蚀的方法不仅浪费时间,而且基体只能用一次,成本高,还会引入FeCl3等刻蚀液杂质,所以越来越多的研究者致力于避免刻蚀的方法,已经有了不错的进展,下面介绍一些比较成功的方法。
(1)液体聚合物法
    传统的PMMA转移法难以实现大面积转移,且需刻蚀基体,本方法经过改进,可以解决这两个问题。过程简单如图4所示,将液态PDMS注入放有Co基石墨烯的盒子中,去除气泡、固化后进行分离。特别之处是通过改变液体聚合物的固液比来控制转移石墨烯的层数(不同固液比粘结力不同),通过四组实验(固液比为2:1、5:1、10:1和20:1)发现,固液比为10:1时转移的石墨烯性能最好,可实现多层石墨烯转移(此时Co基上只留下一层石墨烯)。转移后,用AFM对表面细节进行观察,并用拉曼光谱对表面质量和转移层数进行表征。
   

       图4 用液态PDMS转移Co基上生长的石墨烯

    这种方法步骤简介,成本低,不用刻蚀基体,转移的石墨烯质量好,特别的是可控制转移石墨烯的层数;需改进的是去除残留的PDMF和有机溶剂残留。
(2)聚苯乙烯膜压印法(PS)
    由字面意思可看出,此方法是用PS和金属基体上的石墨烯进行压印,采用两种设备,分别是晶体真空黏贴机和热压印机,后者较前者更经济实惠,压印时在上下均垫上Si晶片(如图5)。特别地,PS表面进行叠氮处理(涂一层TFPA),可以提高其与石墨烯表面的粘结力,为了更好地涂覆TFPA,对PS先进行等离子处理。比较两种设备压印的质量时用到了AFM、XPS、Raman、Micro-Raman,表面质量表征结果都良好。

   

图5 两种压印机组成 (a)热压印机 (b)晶体真空黏贴机


这种方法重点在于控制压力得到均匀的石墨烯,在不同压力下比较,发现25N时石墨烯可以很好地转移,两种设备转移质量均很好,但晶体真空黏贴机得到石墨烯连续性更好,参与应变较小。
(3)CO插排法
这个方法很特别,适用于亚单层石墨烯的转移。其原理是利用CO的部分压力(0-0.6MPA)解耦(如图6),特别是去除四周压力后CO仍存在,以便进行接下来的转移。

   

图6  CO插进Pt和石墨烯之间示意图


     

图7CO插排法转移石墨烯过程


    如图7所示为转移过程:在CO氛围下加压(0.2、0.4、0.6MPA)超过一小时,然后分别用两种方法转移,第一种用PDMS法,第二种用去离子水做剥离剂,发现0.6MPa时转移效果最好。很明显,用去离子水做剥离剂不会引入杂质,但是转移面积较小。转移后用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼(Raman)对表面进行观察和表征,发现表面质量很好
这个方法巧妙地用去离子水做了剥离剂,这样不会引入其他杂质,但由于水的表面张力会产生过大的压力,不能大面积转移。不可否认的是,这是一个很好地方向,既不用刻蚀基体也不用聚合物膜,能获得纯度很高的石墨烯,所以寻找一种表面张力小的液体也许会解决这一问题,还应考虑的是,CO是一种易燃易爆的有毒气体,操作起来有安全隐患。
(4)水泡法
  CVD法制得石墨烯后,在石墨烯上旋涂一层PMMA(310nm),烘烤7min(图b),为了剥离时不皱和更容易操作,在PMMA上粘一层Kapton 胶带(3M 5413),再用聚四氟乙烯棒滚压(图c)。然后将粘有胶带的铜基底置于90度的去离子水中2h(图d),这个过程中,去离子水渗入石墨烯和铜箔之间,然后,用镊子轻轻揭下胶带,粘在目标基底上,在140度条件下烘干40min,冷却20min揭下胶带,用丙酮冲洗,去除残胶,最后进行退火(300度下10min,350度下5min)去除PMMA。

图8 水泡法转移石墨烯


    这种方法转移石墨烯成功的几率可以达到90%,并且石墨烯不会褶皱,也不会引入NaOH之类的杂质。虽然质量不如文献上报道的质量最优的石墨烯好,但之后用刻蚀Cu的经典法和水泡法对CVD法制得的同一批石墨烯进行表征,拉曼光谱验证两种方法均是单层石墨烯(G/2D=0.5),且水泡法的D峰更低,说明引入的缺陷更少,G峰较窄,说明结构紊乱较少。经典法G峰篮移说明其较多P掺杂。
此方法操作简便,但依旧涉及到胶带和PMMA,去除干净成为关键问题。
(5)电解水法
电解水法转移石墨烯是速度最快的一个方法,引入杂质也较少,所以有很好的发展前途。操作起来也很简单,首先在Pt基上的石墨烯表面旋涂一层PMMA(图9(a)),然后用其做阴极,Pt片做阳极,水溶液中加入NaOH(1mol/L),通入电流后反应开始(图9(b)),几十秒内反应就可以完成,可看见H2气泡将石墨烯/PMMA与Pt基分离( 2H2O(l)+2e- →H2(g)+2OH(aq)),H2气泡提供一种轻微持续的力,被分离的石墨烯/PMMA被红色箭头标示出来。烘干后用AFM和Raman对石墨烯进行观察表征,结果表明表民质量良好。用Cu基底生长的石墨烯,发现Cu会被反应一部分,所以本实验选Pt生长的石墨烯,但Pt的价格又比Cu高出很多,加大了成本。
Wang等用Cu生长的石墨烯重复了上述实验(用0.05mol/L的K2S2O8做电解液),由于 Cu(s) + S2O82-(aq) →Cu2++2SO42-(aq),一小部分Cu被溶解,但与此同时生成的CuO和Cu2O(3Cu2+(aq) +4OH-(aq)+2e-→Cu2O(s)+CuO(s)+ 2H2O(l))会阻止铜基底继续被刻蚀。反应结束后,用AFM检测出被刻蚀的Cu不超过40nm,是很小的一部分,对于厚度25um的铜基底来说,影响不大,可以反复使用,这样就在很大程度上节省了成本,有利于产业化。
    此方法反应速度非常快,所以若气泡鼓出的速度过快,会损伤石墨烯,所以应该控制电化学反应速度,也可以像图示那样用镊子夹着慢慢向下放,这样反应就不会过于激烈。为了让石墨烯有更好地支撑,可以在PMMA膜上再加一个轻质支架。虽然这种方法简单快捷,但依旧使用PMMA做支撑膜,避免不了残留的PMMA对石墨烯性能的损害。

   

图9 电解水法转移石墨烯过程

以上是我在研究石墨烯过程中了解到的石墨烯转移方法,不足之处请大家指出完善,共同交流学习!

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