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主题：【求助】气相，ecd检测器，出现波浪峰

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发表于：2018/02/01 17:45:04 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
ecd检测器出现波浪峰，将柱子死堵，仅体现的检测器信号
该帖子作者被版主 PAEs加 2积分， 2经验，加分理由：话题
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2018/2/1 17:54:30 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
流量控制是否稳定？
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安平
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2018/2/1 17:54:47 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
气源是否稳定？
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2018/2/1 18:03:03 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 安平(byron1111) 发表:气源是否稳定？
稳定，而且现在柱子已经按上了死堵，柱子没有接检测器，基线出现上述情况
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2018/2/1 21:18:06 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果周期性太强，要注意气源问题。

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安平
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2018/2/1 21:18:52 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
修改一下ecd尾吹流速，如果波动周期跟着改变，那就可以确认是气源
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zyl3367898
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2018/2/1 21:34:49 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
氮气的纯度够吗？是换了氮气后出现的吗？
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2018/2/1 21:35:16 Last edit by zyl3367898
xiao-jin
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2018/2/1 23:15:14 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
建议楼主仔细观察下检测器温度是否在波动。
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yzguo
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2018/2/2 7:46:33 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
很大可能是载气问题，仔细查查
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qqqid
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2018/2/2 13:23:43 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
要接上柱子看基线，我遇到过没柱子老化完ECD基线波动，接上柱子基线就没波动。
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2018/2/2 15:22:44 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 安平(byron1111) 发表:修改一下ecd尾吹流速，如果波动周期跟着改变，那就可以确认是气源
修改尾吹，更换气源，仍然未改善
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