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主题：【已应助】热电TSQ液质真空度没有读数

浏览0 回复9 电梯直达
图灵子
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发表于：2024/02/22 15:20:29 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
公司一台老的热电液质TSQ Quantum，元旦关机后再开机，就一直读不了高真空读数，Ion Gauge Pressure显示2.9e-11，禁用高压，没法用。不知道有没有大神遇到这种情况？涡轮泵工作显示正常，真空离子规能点亮，拆下来放在气质上用真空规控制器测试是正常的。用真空规控制器测试真空度，开机后涡轮泵启动后1分钟左右，真空度由-2次方升至-7次方，后面读数显示为0。
推荐答案：歌名回复于2024/02/23
重启MS电路板和电脑，重新看看真空是否正常，不行就要报修了
该帖子作者被版主 hujiangtao加 5积分， 2经验，加分理由：鼓励发帖
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2024/2/23 7:08:02 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1分钟真空度就能达到-7次方不太现实吧，感觉可能还是真空规的问题，硬件问题还是咨询下赛默飞工程师吧
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sdlzkw007
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2024/2/23 7:22:58 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼上的说法比较实际。
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歌名
Ins_eedcdc41
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2024/2/23 9:19:21 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
重启MS电路板和电脑，重新看看真空是否正常，不行就要报修了
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heaven2003
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2024/2/23 11:22:38 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
真空规坏了，换新的吧
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m3036177
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2024/2/23 13:14:01 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
source 板挂了
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zzy19810115
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2024/2/25 8:20:42 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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P3268170
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2024/3/11 22:03:08 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
修复了吗？
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P3268170
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2024/3/11 22:04:53 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个应该是Source的问题，可以修复的
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图灵子
Insm_e25eb8e0
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2024/3/20 15:18:04 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
离子源板上真空规连接线老化，换新的就好了。但是之前外接控制器不行，就不知道为什么了。
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