样品:氧化铝模板
采用仪器:S-4800 日立
拍摄条件:加速电压5KV 发射电流5UA 由于样品孔径比较小用户又要求看到模板的真实细节,因此不蒸金拍照。由于氧化铝模板厚度已经超过400NM所以在这样的工作条件下样品荷电现象已不可避免的会出现。要减少荷电对图像的影响,采用的手段(不蒸金)就用低电压的加减速。不过我在实践中发现采用这种手段一则:信号太弱成像不是太好,二则:调整比较麻烦。因此用了半年时间苦练TV成像法(主要就是亮度对比度的调整),下面的图像就是我采用TV模式成的像。可见不蒸金的模板孔径内的纹理十分的清晰明了,蒸金以后这些纹理基本也就消失了。这个氧化铝模板孔径在20NM左右属于较小的孔,蒸完金对孔径影响也是不小的。下图不蒸金我们可以清晰地看清模板孔的六角形框架。
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