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主题：【求助】哪家SEM能测镀层厚度？

浏览0 回复16 电梯直达
晕呼呼
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发表于：2013/05/20 13:37:40 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
想找家能提供SEM测试镀层厚度的单位合作，镀金，厚度大约0.1微米左右，大家知道上海有哪家能提供吗？谢谢啦
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fengyonghe
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2013/5/20 16:00:28 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
SEM没有直接测量镀金层厚度的功能，除非做横截面。另有许多专用测厚仪。
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晕呼呼
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2013/5/20 16:38:11 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
SEM没有直接测量镀金层厚度的功能，除非做横截面。另有许多专用测厚仪。


是的，先做线性切割得截面，再用SEM测量，这种物理测量准确度应该更高些。
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yangyouran
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2013/5/21 11:03:07 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 晕呼呼(yuxinbugan) 发表:
想找家能提供SEM测试镀层厚度的单位合作，镀金，厚度大约0.1微米左右，大家知道上海有哪家能提供吗？谢谢啦


100nm的镀层用台阶仪测试应该还是很准的；我们平时做的膜，用台阶仪测试30nm，电镜下观察28-29nm。
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晕呼呼
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2013/5/21 12:56:40 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 yangyouran(yangyouran) 发表:
原文由 晕呼呼(yuxinbugan) 发表:
想找家能提供SEM测试镀层厚度的单位合作，镀金，厚度大约0.1微米左右，大家知道上海有哪家能提供吗？谢谢啦


100nm的镀层用台阶仪测试应该还是很准的；我们平时做的膜，用台阶仪测试30nm，电镜下观察28-29nm。


能做镀金吗，多层镀层能不能做？你们单位做个镀层厚度费用是多少？
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minta
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2013/5/25 11:41:49 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 晕呼呼(yuxinbugan) 发表:
原文由 yangyouran(yangyouran) 发表:
原文由 晕呼呼(yuxinbugan) 发表:
想找家能提供SEM测试镀层厚度的单位合作，镀金，厚度大约0.1微米左右，大家知道上海有哪家能提供吗？谢谢啦


100nm的镀层用台阶仪测试应该还是很准的；我们平时做的膜，用台阶仪测试30nm，电镜下观察28-29nm。


能做镀金吗，多层镀层能不能做？你们单位做个镀层厚度费用是多少？


我们可以做的,你可以看一下我们清华大学的客户发表的论文中的厚度情况http://www.doesun.com/news/newsDetails.asp?id=151
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fengyonghe
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2013/5/25 15:28:36 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
链接展示的是用截面测量，LZ的意思是直接测量。
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sept
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2013/5/27 14:18:57 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果是牛津能谱，可以增加一个layerprobe的功能，不需要切割样品的横截面，直接打最上层。
因为电子束可以穿透多层厚度，并计算出该层厚度或元素成分来。
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仗剑少年游
yue_qiu
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2013/5/28 21:47:13 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
XRF可以计算，但是计算值和真值之前的差距尚不知道。
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yys1984
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2013/6/8 15:18:11 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
牛津X-ray那叫一个差，以前用的时候聚焦都聚不准，工程师脾气还大
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八六三材料检测
v2718593
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2013/6/9 13:45:45 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
像你这种情况，选择SEM测的话，有点大才小用了，一般检测机构可能还要收个什么制样费，其实荧光法就可以搞定，你可以问一下检测机构的人，QQ1458226642，他专门从事这个的。。。。。
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