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X射线衍射仪（XRD）
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主题：【求助】常规的粉晶衍射仪能做薄膜样吗？

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zircon2008
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发表于：2007/10/06 16:37:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们那的粉晶衍射仪是岛津7000，没带小角附件。我们想做薄膜，一直没做出来，可是工程师说能做，操作说明也说能，但没提在不在小角附件上作。我想知道，没有小角附件是否能测薄膜？
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2007/10/6 22:28:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
薄膜不是用小角附件来做的,只要你的狭缝\计数器等对用普通的粉末衍射附件也是可以做的,可能与你的仪器有关,但一点可以肯定的是小角附件与做薄膜是没有关系的,我觉得对XRD来说,小角附件应是指做小角散射时用的附件,它与小角衍射有本质的区别.我可能觉得您可能是说您的仪器的狭缝不全吧
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dameguyah
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2007/10/9 22:42:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
做薄膜时，一般需要薄膜附件，用掠入射。这时因为膜比较薄，掠入射时，X光的穿透深度较小，所以受基体的影响小。但薄膜附件不是必须的。只要能进行掠入射就可以了。一般的衍射仪都能做到。
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liuzhiwen0411
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2007/10/10 8:53:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
利用普通XRD作薄膜与样品也有很大关系，ZnO薄膜很容易，而AL2O3薄膜很难，以上皆是多晶薄膜，但只能定性分析。我知道大连理工新近一台专门做薄膜的，薄膜所有分析皆可以做，目前是国内最好的。
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slower
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2007/10/11 17:19:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一般的衍射仪都能做薄膜测试，对硬件好像没多少要求，只是在制作薄膜时不要太薄，应该稍厚一点，这样打出的谱才峰形明显，不然都是衬底的衍射谱，或者是非晶的谱。
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qcz9999
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2010/4/21 10:51:10 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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jidzhang
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2010/4/28 9:29:41 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果是掠射模式普通衍射仪肯定不行,普通模式要看能不能把薄膜对准,即高度和水平性,由于普通衍射仪没有薄膜附件,这就看操作人员的水平了.
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休眠火山
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2010/5/9 23:19:26 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不行，别费劲了
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FRATZ
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2010/6/17 13:10:03 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
按普通粉末去做，膜材料与基体材料都出峰，你做没有膜的基体后就知道膜材料的物相了。
不要基体峰时就得用小角度掠入角，配X-ray MIRROR 来做，没有mirror 也可做，不过要更长的时间，效果差一些。
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XRD
huangjw
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2010/6/18 0:03:29 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们使用理学D/max 2500 18kW的衍射仪,没有带什么薄膜附件.但是,我们也能做出来.如果做物相分析的话,需要膜较厚,一般需要100 um左右.这样才不会出现基体的峰.如果膜较薄,而且不想出现基体峰,可以使用掠入射做.一般设入射角为5度左右,不会出现基体峰了,不过,有五点要注意,一是这时候做出来的峰没有常规扫描那么样的好看,二是高角度峰会有明显的偏移,三是狭缝要调小一点,四是计数时间要长一倍以上.还有最重要的一点,就是膜的位置一定要准确,高或者低都不会出现衍射峰. 如果5度入射还出现峰,那么再调小一点.
如果要做单峰的掠入射,看不同厚度的变化,则要将狭缝调到最小,精确地定位样品位置,用极慢的速度来做,也可以做出0.2度入射的峰.

这只是我在没有附件的情况下使用的条件,大家有更好的办法希望分享出来.
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