主题：【分享】扫描电镜系统

谢谢，希望有大侠能提供更详细的资料，我刚接触这个，资料网上很难找。

短小，精焊，不错！

原文由 lzb836 发表:
扫描电镜系统（包括X 射线能谱仪）主要用于金属样品的微观形貌观察和微区成分分析，由于其具有分辨率(3nm)高、可从几倍连续放大到数十万倍、景深大、制样简单，可进行微区成分分析等特点，在金属材料领域进行的材料及工艺实验研究中，扫描电镜系统在显微断口观察与分析、显微组织观察与分析、疑难组织鉴别、微区成分分析、缺陷鉴定、相分析和失效分析等方面发挥了其它检测手段无法替代的关键性作用.

学习啦,很好的内容.

X射线能谱仪全称为能量分散谱仪(EDS)．
目前最常用的是Si(Li)X射线能谱仪，其关键部件是Si(Li)检测器，即锂漂移硅固态检测器，它实际上是一个以Li为施主杂质的n-i-p型二极管。
以Si(Li)检测器为探头的能谱仪实际上是一整套复杂的电子学装置。
Si(Li)能谱仪的优点：
(1)分析速度快    能谱仪可以同时接受和检测所有不同能量的X射线光子信号，故可在几分钟内分析和确定样品中含有的所有元素，带铍窗口的探测器可探测的元素范围为₁₁Na~₉₂U，20世纪80年代推向市场的新型窗口材料可使能谱仪能够分析Be以上的轻元素，探测元素的范围为₄Be~₉₂U。
(2)灵敏度高    X射线收集立体角大。由于能谱仪中Si(Li)探头可以放在离发射源很近的地方(10㎝左右)，无需经过晶体衍射，信号强度几乎没有损失，所以灵敏度高(可达10⁴cps/nA，入射电子束单位强度所产生的X射线计数率)。此外，能谱仪可在低入射电子束流(10^-11A)条件下工作，这有利于提高分析的空间分辨率。
(3)谱线重复性好。由于能谱仪没有运动部件，稳定性好，且没有聚焦要求，所以谱线峰值位置的重复性好且不存在失焦问题，适合于比较粗糙表面的分析工作。
能谱仪的缺点：
(1)能量分辨率低，峰背比低。由于能谱仪的探头直接对着样品，所以由背散射电子或X射线所激发产生的荧光X射线信号也被同时检测到，从而使得Si(Li)检测器检测到的特征谱线在强度提高的同时，背底也相应提高，谱线的重叠现象严重。故仪器分辨不同能量特征X射线的能力变差。能谱仪的能量分辨率(130eV)比波谱仪的能量分辨率(5eV)低。
(2)工作条件要求严格。Si(Li)探头必须始终保持在液氦冷却的低温状态，即使是在不工作时也不能中断，否则晶体内Li的浓度分布状态就会因扩散而变化，导致探头功能下降甚至完全被破坏。 

以上是我了解的资料。。。仅供参考：）

辛苦了。
冷却Si(Li)的是液氮，应该没有用液氦的。现在有很多厂家生产无液氮制冷能谱。大体可分为两类：晶体采用硅漂移技术(SDD)，俗称电制冷,现在也比较热门；以及晶体仍采用Si(Li)的,但通过脉冲压缩制冷，如Oxford的Drycool,还获得了英国女王奖。波谱的分辨率5eV,太笼统了，具体指那个元素呢？EDS一般说Mn, 但波谱对Mn肯定达不到5eV吧。

资料不是很全呀，有没有相关的电子书可供下载?

新手，学习中

谢谢大家的分享。
扫描电镜的使用大多在材料方面。大家可以通过材料的生产要求的文献资料上看到扫描电镜的作用。