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主题：【求助】6890 FID 空气流路问题！！！急，晕，求！

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laidekeai

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发表于：2007/11/07 21:36:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

FID上有三路气：H2，makeup gas，Air。
我在工作站上设定H2流量为20ml/min，makeup gas为4ml/min，但是Air的出了问题，我没有设定的时候，工作站就显示实际流量为190ml/min左右，但是我实际测了下，却没有流量，当我在工作站上把Air流量加大到600ml/min时（显示实际流量也是600ml/min），测了下实际流量只有70ml/min左右，我很晕，是不是EPC的PC板出了问题啊？或是Air管道堵了？
顺便问下，FID的点火线圈自己能换吗？备件贵吗？价位多少啊？

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2007/11/8 10:02:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

很有可能是你的管路堵住

点火线圈自己换应该没什么问题
一般的价格各种仪器的厂家也不一定的

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guohua

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2007/11/9 6:45:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

可能是EPC中air那一路控制有问题了，如果想省钱就先这么凑活着用，设一个较大的流量（比如八九百）。

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风起云飘舞

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2007/11/19 12:11:00 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 guohua 发表:
可能是EPC中air那一路控制有问题了，如果想省钱就先这么凑活着用，设一个较大的流量（比如八九百）。

不管是气堵了还是EPC的问题，都要从根本解决。不是凑乎着用以后的问题就越累越多了，最后就不知道哪里出了问题。建议从气源开始查起。EPC问题问工程师有没验证方法逐步解决吧。

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xiaomity

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2007/11/19 18:12:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

估计请工程师来得容易，换零件也方便。顺便检查一下有没有其他问题

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guohua

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2007/11/19 22:40:00 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 zhckj 发表:
原文由 guohua 发表:
可能是EPC中air那一路控制有问题了，如果想省钱就先这么凑活着用，设一个较大的流量（比如八九百）。

不管是气堵了还是EPC的问题，都要从根本解决。不是凑乎着用以后的问题就越累越多了，最后就不知道哪里出了问题。建议从气源开始查起。EPC问题问工程师有没验证方法逐步解决吧。

还是先问一下EPC的价格再说这话吧，好多单位不舍得掏这个钱的，结果还是实验室为难；EPC的验证不难，九成以上是EPC的问题。

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koom

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2007/11/21 14:51:00 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 laidekeai 发表:
FID上有三路气：H2，makeup gas，Air。
我在工作站上设定H2流量为20ml/min，makeup gas为4ml/min，但是Air的出了问题，我没有设定的时候，工作站就显示实际流量为190ml/min左右，但是我实际测了下，却没有流量，当我在工作站上把Air流量加大到600ml/min时（显示实际流量也是600ml/min），测了下实际流量只有70ml/min左右，我很晕，是不是EPC的PC板出了问题啊？或是Air管道堵了？
顺便问下，FID的点火线圈自己能换吗？备件贵吗？价位多少啊？

为吹是不是小了些呢，我都是20ml的流量
建议用皂抹流量计测试一下，看是不是流露堵住了

PS：点火的你用打火机也行，当然换也可以，不贵

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