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主题：【求助】FE-SEM怎么调节Alignment?

浏览0 回复21 电梯直达
suntht
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发表于：2007/11/08 11:16:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
图像上下晃动调节Y,左右晃动调节X,那么前后晃动应该怎么调？这个时候对焦效果很差，很难得到清晰的图像。
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moonbearpipi
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2007/11/8 16:19:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 suntht 发表:
图像上下晃动调节Y,左右晃动调节X,那么前后晃动应该怎么调？这个时候对焦效果很差，很难得到清晰的图像。


我们的是FE-SEM ,你说的前后晃动是指的样品没有固定好吧，这样在高倍下图象漂移严重，不管是调焦还是象散校准都很困难的。
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suntht
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2007/11/8 17:16:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
阿，谢谢了。下次我注意把试件粘得牢固点儿，一直以为这个是需要调节的呢
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kapabulanka
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2007/11/9 11:57:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我猜你是在做对中时观察到图像晃动。 在倍数较低时对中，就会观察到图像前后晃，但在高一点倍数下调队中，图像的晃动就规则了。
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suntht
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2007/11/9 12:01:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
今天把试件粘得很紧，可是仍然晃得厉害。而且随着时间有加剧的趋势。是不是样品台推入真空室后和固定台卡的不紧阿？
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常怀千岁忧
narcisus
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2007/11/10 18:34:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 suntht 发表:
图像上下晃动调节Y,左右晃动调节X,那么前后晃动应该怎么调？这个时候对焦效果很差，很难得到清晰的图像。

不知道您用哪个型号的，就我的理解您是选中了align选项调对中的吧？
这种情况下前后晃动就表示调好了呀，只要取消align就可以正常观察图像了。
align时聚焦较难调好，因为图像一直是在虚实交替，应该在此之前就调好聚焦的。
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磨剪子嘞 锵菜刀
amoslau
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2007/11/11 21:24:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
It's wobbling
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磨剪子嘞 锵菜刀
amoslau
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2007/11/11 21:26:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
电子束汇聚的“焦距”在不停的上下变化，用来检定光阑是否对中。
在此过程中，有切仅有一点是清晰的。是一个由不清晰到清晰再到不清晰的过程。
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磨剪子嘞 锵菜刀
amoslau
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2007/11/11 22:07:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1、在1000倍左右将图像调至最清晰
2、开始光阑对中操作，调节光阑，使图像移动最小
3、逐步增加放大倍率，并同时调节光阑对中，直至……
4、退出光阑对中操作
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suntht
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2007/11/12 12:06:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢amoslau这么详细的答复，我用的型号是FE-SEM S4700，也是这样操作的.但是效果时好时坏，有时候图像特别清楚，有时候怎么调都是模糊的。最近几次操作很难对焦，总是有虚影，前后晃动幅度很大，所以想知道怎么样使幅度减小。
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wj198010
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2007/11/12 14:00:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是不是电压偏高造成击穿现象？
试着降低灯丝电压
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