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主题：【求助】请问扫描电镜中是否有电子束的挡板？

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thb2520
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发表于：2007/11/08 09:59:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问扫描电镜是否有电子束的挡板，可以在关闭的时候截断电子束？
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2007/11/8 12:12:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 guoning_1000 发表:
干嘛要截住电子束？

做测试用，打开挡板可以照射样品，关闭可以迅速截断电子束，停止照射。
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jeolzxj
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2007/11/8 16:44:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
Beam Blank功能，几乎每个电镜都可以
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huangtao0307
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2007/11/8 21:59:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
兄弟用那个厂商的电镜

电子束是可以调的


不过可能设备不一样，调法也会不一样
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2007/11/8 22:59:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 huangtao0307 发表:
兄弟用那个厂商的电镜

电子束是可以调的


不过可能设备不一样，调法也会不一样

日本电子的较早型号，具体我有点不记得了，但看了说明书上面也没有说有那个Beam blanker
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kapabulanka
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2007/11/9 11:51:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
freeze 状态下电子打不到样品，run 状态下电子照射样品。
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Last edit by kapabulanka
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2007/11/9 18:29:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 kapabulanka 发表:
freeze 状态下电子打不到样品，run 状态下电子照射样品。

我刚查到使用的是日本电子JSM-6380型电镜！你的建议很好，非常感谢您！
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wj198010
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2007/11/12 14:04:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
场发射有，钨灯丝没有
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磨剪子嘞 锵菜刀
amoslau
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2007/11/12 15:02:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wj198010 发表:
场发射有，钨灯丝没有


W的也有，至少也应是配件
beam blanker 不是 isolation valve
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Last edit by amoslau
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RENXIN
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2007/11/19 21:22:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看来这里需要扫盲。
BEAM BLANKER都是电磁式的，一般的钨灯丝电镜，只要有电磁式电子束对中功能的，都有这个功能。原理是利用对中线圈将电子束偏转到一边。一般的场发射电镜很类似。
高端的场发射电镜，特别是半导体行业用来蚀刻作业的，电子曝光作业的，或是有双束的，在镜筒内阳极部位安装了专用的工业强度的电磁式偏转板，可以高频率的偏转电子束，完成需要短时间的强曝光的各种作业。
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Last edit by RENXIN
磨剪子嘞 锵菜刀
amoslau
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2007/11/20 10:30:00 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
目前大家指的blanker应该都是高频偏转线圈作用的，另外很多国外的电镜附件生产商都提供与各种品牌型号电镜相配套的blanker，有需要的朋友可以自己去网上找找看。
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