一、实验室简介
我们实验室主要从事多晶硅生产过程中的检测任务,主要有:冶金硅、硅的氯化物、HF、HNO3、H2、N2、多晶硅、半导体等的检测。
二、主要仪器有:
1、
ICP-MS 厂家:Agilent 型号:7500cs 用途:用于多晶硅表金属的分析;
2、GC 厂家:Agilent 型号:7890A 用途:用于硅的氯化物和环境污染物等的检测;
3、ICP-OES 厂家:PE 型号:5300DV 用途:冶金硅等的检测;
4、FTPL 厂家:Bruker 型号:Vertex 80V 用途:半导体物性检测
5、FTIR 厂家:Accent 型号:QS2200 用途:半导体物性检测
三、主要有洁净室;通风柜、橱;操作台等,以不锈钢材料为主,大多为上海沪试分析仪器有限公司的。操作台和天平台都需要防震,因为精度很高。