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扫描探针显微镜SPM/AFM

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主题：【求助】图像分析中的疑问

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sunshining

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发表于：2008/01/28 22:06:38 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

大家好，想问一下：在处理图像时，如果有2个sample A,B，都在DFM模式下，在1um扫描范围下，我得出了 A,B的图像。但是扫描过程中，比如I,P Gain，Amp.Ref，Scan Speed 我这些参数都不一样，之后做一样的Flat,Tilt，现在要问，这时候比较他们的粗糙度，平均颗粒直径这些数据，还有没有可比性？
还有，同一sample，同一位置扫同样的范围，如果扫描参数不一样，粗糙度，平均颗粒直径也会不一样？为什么？
那，我要比较不同样品的粗糙度，平均颗粒直径我应该如何做好有可比性的前提条件？
谢谢大家！迫切等待解决。

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2008/1/29 10:11:57 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 sunshining 发表:
大家好，想问一下：在处理图像时，如果有2个sample A,B，都在DFM模式下，在1um扫描范围下，我得出了 A,B的图像。但是扫描过程中，比如I,P Gain，Amp.Ref，Scan Speed 我这些参数都不一样，之后做一样的Flat,Tilt，现在要问，这时候比较他们的粗糙度，平均颗粒直径这些数据，还有没有可比性？
还有，同一sample，同一位置扫同样的范围，如果扫描参数不一样，粗糙度，平均颗粒直径也会不一样？为什么？
那，我要比较不同样品的粗糙度，平均颗粒直径我应该如何做好有可比性的前提条件？
谢谢大家！迫切等待解决。

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sunshining

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2008/1/29 20:24:23 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

楼上，您说的太深了。。我是新手，谢谢。

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2008/2/13 13:58:51 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

这个问题比较复杂。
一般而言，扫描不同的样品，不同的扫描区域的时候，要获得好的图像，所需要的扫描参数是不一样的，一般都需要根据扫描图像的质量对参数进行实时调节，直到稳定，清晰的成像。
1.对于在不同样品上获得的A，B两幅图像，虽然扫描参数不一样；但是，只要两幅图像都是稳定，清晰的图像（即针尖是稳定，正确的跟踪样品表面的），我认为，二者的平均粒径数据是具有可比性的。如果平整化方式都一样，那么粗糙度数据应该也是具有可比性的。

2.扫描同一区域，扫描不同，得出的结果也不同。这个比较好解释。扫描时，反馈系统要控制针尖需要跟踪样品表面，反馈参数不同，针尖跟踪样品的效果自然也就不同，得到的图像当然也不同，参数控制不好的话，还会出现一些假象。所以在扫描的时候，需要观察图像，一边调节参数。

所以，要比较不同样品的粗糙度，平均粒径等，就必须在扫描的时候做好参数控制，使获得的图像能真实的反映样品的表面形貌。这样就具有可比性了。

原文由 sunshining 发表:
大家好，想问一下：在处理图像时，如果有2个sample A,B，都在DFM模式下，在1um扫描范围下，我得出了 A,B的图像。但是扫描过程中，比如I,P Gain，Amp.Ref，Scan Speed 我这些参数都不一样，之后做一样的Flat,Tilt，现在要问，这时候比较他们的粗糙度，平均颗粒直径这些数据，还有没有可比性？
还有，同一sample，同一位置扫同样的范围，如果扫描参数不一样，粗糙度，平均颗粒直径也会不一样？为什么？
那，我要比较不同样品的粗糙度，平均颗粒直径我应该如何做好有可比性的前提条件？
谢谢大家！迫切等待解决。

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