主题:SEM与SPM的差异?

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dapengcirp
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SEM与SPM的差异
谢谢先。。。。。。mapengxun@sina.com
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ssh110
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这两种显微镜差别比较大,前面好像有帖子介绍过,大家可以再好好讨论一下!
ssh110
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扫描探针显微镜与扫描电镜的比较
优点:
•  分辨率更高
  扫描探针显微镜是迄今为止分辨率最高的显微镜,这是由它的工作原理所决定的,它不是象传统的显微镜那样是用眼睛看的,而相当于用手摸的,以下是两种显微镜在分辨率上的比较。
显微镜分辨率的比较
 
电子显微镜    0.0000011     金刚石中碳原子成像
扫描探针显微镜    0.00000008    STM得到石墨中碳原子成像
 
•  新兴的研究工具 
  电镜技术已经发展到一个相对来说非常成熟的阶段,而扫描探针显微镜正处于蓬勃兴起的阶段,相信在不久的将来,它肯定会成为教学或科研中的重要工具 .
•  功能更强大
  它不再象电镜只能看到二维的图像,也就是 x,y 方向上的大小,还能得到 z 方向上的大小,也就是三维的图像,然后对扫出的图像进行定量得分析,比如粒径的分析,颗粒分布,以及剖面的测量等等。同时,它除了分析测量的功能以外,还能进行操纵和加工。
•  信息更丰富
  除了获得力的信息外,还有光、电、磁、声和摩擦力等信息,也使得它的应用领域更加广泛。
•  操作更简单
  电镜制作样品需要切片机,有时还要在真空里进行,但扫描探针显微镜完全不需要这么苛刻的环境要求,在普通的实验室里就可以完成了。
•  制样简单
  象薄膜、固体样品都可以直接放在样品基底上,粉体的话可以先将其溶于溶剂中,然后涂于云母基底表面,等其干燥后就可以测了。
缺点:
•  扫描范围小
•  只能看表面,是对表面形貌的表征
•  它在 z 方向上的景深比较短,受到针尖粗细、扫描管 z 方向上移动的距离大小以及表面平整度三个因素的制约,扫描探针显微镜在 z 方向上的景深相对来说比较短 .
hu_ad
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liufj
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还有就是SPM是不是可以有三维图像,具体我不太明确
annelugel
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agmlab
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2楼已经说了SPM比较多的优点,但SEM应该说也有一些长处。
SEM的观察范围可跨约4个数量级,且改变方便迅速,对非均质样品寻找不同观察点就非常方便。配合改变倾转角度、选用不同检测器、EDS等手段可对样品的侧(截)面、不同组分、成分进行观察和测量。
往往一台电镜一天可测试几十个样品,而不像SPM那样花大量时间反复寻找、进行很多图像处理才能得到一张完美的图片。当然,如果得到这样的图片可能就意味着可发表一篇很好的文章,而SEM却不一定。
二者各有优缺点,能充分利用、取长补短、提高效率才是正道。
liuqing2
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agmlab
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原文由 liuqing2 发表:
可以转化为三维的图像的,工具栏里就有的


SEM转化的三维的图像实际是信号强度的扫描图,它不只和形貌有关。
而SPM在接触模式和敲击模式下就是三维的图像,但可能会有点失真。

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