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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】SEM的几个电流含义？

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sobergod

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发表于：2008/03/17 11:22:24 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

各位老师，我刚刚接触扫描电镜，对下面几个概念一直不太清楚，请麻烦给解释一下，并给出他们的作用，非常谢谢！！
Emission Current
probe current
beam current
工作距离与焦距的含义和两者的关系如何？

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2008/3/17 21:33:08 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

抛砖一下：
Emission current:是电子枪的发射电流，应该是出韦氏帽的电流。
Beam current:是通过聚光镜中的电流。这个通过的概念不知是否讲的是通过线圈的电流，而不是Emission current 下来的电流。因为有这样一个说法，说beam current 越大，会聚能力越强，透镜的焦距变短，通过物镜光阑打在样品表面的Probe current反而变小。
Probe current:如上所言，就是打在样品上的电流。很多电镜都有测量Probe current 的装置，并有数值显示。Probe current的电流小，则信号弱，信噪比低，影响分辨率和图像清晰度。在低加速电压下，有通过调节Bias的方式来增大Emission current（有些写增大Beam current），最终都可以增大Probe current。增大物镜光阑孔径也可适当增大Probe current。

有些概念不明之处，还请多多指正！

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heimuya2005

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2008/3/17 21:43:42 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

工作距离和焦距：
工作距离：是指物镜中心（虚拟）到试样表面的距离。要想观测到清晰图像，在这个工作距离要实现良好聚焦。在其它条件不变的前提下，物镜具有一定的调节焦距的能力，这不同于光学透镜（当入射光束固定时，焦距也固定）。很多电镜都具备自动聚焦的能力，这就是说先调节工作距离，那么通过自动聚焦，焦距≈工作距离。由于试样表面凹凸不平，要得到拟观察位置的清晰图像，还要进行焦距的微调。呵呵，不知这样是否明了？
调节工作距离有利于观察，这是一个手段。或许LZ还要考虑景深。

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