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主题：【求助】请问电子枪高真空抽不上怎么回事？

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netasp
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发表于：2008/04/01 12:45:21 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
电子枪部分高真空一直抽不上去，抽半天一天都不行，真空参数一直在0.48-0.52Pa之间，正常时5-6分钟就可以了，究竟怎么回事？那位知道的大侠请告之。

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2008/4/1 12:49:29 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
补充，低真空很快就抽上去了（两分钟不到），就是抽高真空时一直停着不动。
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r51755
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2008/4/1 15:29:09 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问您的扫描电镜的什仫型号
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netasp
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2008/4/1 16:38:58 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是电子探针，JXA8100
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teufelmond
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2008/4/2 11:21:26 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
很小很小的漏气?
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fermilin
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2008/4/2 13:02:57 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
样品仓的漏气，检查样品仓密封圈，舱门处有没有杂质等
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netasp
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2008/4/2 14:06:17 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可是样品仓的真空度已上去了，压力已低于0.3Pa，达到工作条件了。但电子枪室的真空度只有0.52Pa，怎么抽其压力值都下不去，这还会是样品室漏气么？
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Last edit by netasp
guanjun19860820
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2008/4/6 19:47:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
检查样品仓密封圈
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guanjun19860820
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2008/5/2 22:36:28 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我以前也遇到过这样的问题，你可以试着将样品室和电子枪室的密封线圈拆下来擦干净，再装上，涂上真空脂！
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taoyan724
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2008/5/2 23:04:48 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢提问哈
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taoyan724
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2008/5/2 23:10:13 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
哈哈哈哈后
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