原文由 sshlxf 发表:
做过类似的样品,用背散射图像是可以看到颗粒的。如果用颗粒自动分析功能还能实现颗粒的自动采集,并进行统计分析。
今天样品回来了,先试了一个,切得果然好
看看下面的mapping,用的话背散射的话分辨更好些
楼上图中的亮点应该是氧化锌吧,氧化硅好象比较容易被橡胶包裹
还有问题啊,大家看下面的图,C O 看起来正常,但是到si这儿就不一样了,不管是用3.4kev 5kev 10kev 15kev 都是一片硅,按说si和O应该基本吻合才对吧,这个是不是和锂漂移硅Si(Li)探测器有关呢??
算了,大概是硅烷偶连剂的事