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主题：【求助】EDX和XPS有啥区别呢！谢谢您的帮助！

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发表于：2008/06/05 11:33:37 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
生物质材料，含一些元素，想做SEM-EDX和XPS，不知道它俩都做又重复之嫌！有什么异同之处呢？都有什么功能呢！！我是不懂选手！请赐教！
谢谢您的帮助！
该帖子作者被版主 feixiong5134加 3积分， 2经验，加分理由：好问题
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feixiong5134
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2008/6/5 17:59:49 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
EDS是测定相对深点的
他能得到里面含有什么元素
这样可以跟透射对比
更好的确定谱图
而xps是测定表面的
他还可以确定元素的价态
各有侧重点
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dingtingwei
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2008/6/5 18:41:05 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢
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icecutie
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2008/6/16 17:44:52 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
补充楼上：

EDS的定性检测限要高一点，目前最好的EDS测元素含量只能达到2%，也就是说如果某元素的含量小于2%，EDS就不能检测到。另外EDS不能检测轻元素，如Li，B，不准确。它的好处是，可以进行样品的线分布或者点分布的定性和定量测定，也就是说，可以根据SEM图中您想要的位置随时选点测定分析。

XPS的检测限要更低，0.1%的元素含量就可以检测到，适用于除了H，He以外的所有元素的分析。XPS除了测定表面元素之外，也可以进行样品元素沿纵深方向的分布情况，即做深度剖析
该帖子作者被版主 feixiong5134加 5积分， 2经验，加分理由：谢谢，学习了
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Last edit by icecutie
feixiong5134
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2008/6/16 22:00:25 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
以前做的时候
问操作人员EDS的取谱深度
和极限
他们也不知道
向您学习了
谢谢
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donglimin_12138
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2008/6/25 15:25:45 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
大家都很专业么！谢谢了！
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zxg0526
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2008/7/16 15:52:12 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢分享啊！！！
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