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X射线衍射仪（XRD）
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主题：【讨论】各位前辈，帮忙看一下小弟的XRD的结果！不对的地方告知！

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发表于：2008/07/11 22:41:38 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

首先说一下：
我做的是三元薄膜：SiCN，所用气源：硅烷、甲烷、氮气！仪器：HFCVD
通过和SiCN 的PDF卡片：74-2308 我认为该图中主要物相就是它，
28度左右我认为是Si 衬底的峰，另外的一个峰我认为就是杂峰了！
SiCN的部分结果
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